Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-A #9355273 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A est un équipement asher/etcher pour la production de dispositifs semi-conducteurs. Il offre des capacités supérieures de gravure plasma et de nettoyage, avec une fenêtre de processus à basse température. TEL Indy-A est disponible en deux modèles, les 300i et 500i, permettant le traitement des substrats 300mm et 500mm. Les deux modèles ont un scanner CCD et X-Y embarqués qui fournit un positionnement précis du substrat pour une gravure efficace. TOKYO ELECTRON INDY Une unité a également une capacité d'implantation supérieure pour les implants dopants. Il présente un fonctionnement basse tension pour l'implantation de substrats à faible concentration. La machine dispose d'un bras de traitement indépendant qui est capable de traiter des parcours simples ou multi-plaquettes, permettant une efficacité optimale jusqu'à 18 + plaquettes par heure. TEL INDY Un outil est compatible PECVD et ICP, offrant une propreté de chambre supérieure. Il utilise un mécanisme de détection tactile/positionnement et l'actif Chameleon 12 PECVD pour la gravure plasma qui permet des processus à basse et haute température. Le modèle est conçu pour une gravure rapide et précise de toute tranche de taille. L'équipement Indy-A est très polyvalent, permettant la flexibilité et la personnalisation. Il offre des fonctions « intelligentes » pour améliorer les performances du système, comme la surveillance thermique, l'assistance web et la cartographie des substrats. L'unité offre également des options basse et haute pression, ainsi que des modes de fonctionnement basés sur la vide et l'air. La machine comprend un logiciel intégré qui permet de contrôler les processus en temps réel. L'outil comprend également des outils de développement de processus tels que des utilitaires de création de recettes et des diagnostics automatisés. TEL/TOKYO ELECTRON INDY A dispose d'un fonctionnement à faible coût entièrement automatisé qui est conçu pour une production efficace et à la demande. En outre, INDY A est conforme RoHS et est conçu pour réduire les impacts environnementaux nocifs de la production de semi-conducteurs. En résumé, TOKYO ELECTRON Indy-A est un atout asher/etcher avancé qui offre un traitement précis et automatisé des opérations monobloc et multi-wafer avec des capacités de processus supérieures. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-A dispose d'une haute efficacité de performance avec des composants flexibles et peu coûteux, et est conçu pour obtenir une gravure de précision avec des impacts environnementaux minimes.