Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293634371 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un équipement graveur/asher conçu pour répondre aux besoins de gravure/ashing de l'industrie de fabrication de semi-conducteurs. C'est un système rapide et économique qui permet un contrôle précis de la profondeur de gravure, un meilleur débit et un fonctionnement stable. TEL INDY B L offre une gamme de fonctionnalités, y compris le contrôle programmable de la température, le contrôle du débit de gaz, le contrôle de la pression, ainsi que cinq recettes prédéfinies de gravure/cendres qui peuvent être réglées pour différentes tailles de plaquettes et les processus d'appareil. TOKYO ELECTRON INDY B-L est une unité de chambre pleine taille qui utilise à la fois les capacités du mandrin électrostatique (ESC) et du plasma à courant continu pulsé (PDP). L'ESC est utilisé pour maintenir la plaquette pendant les processus de gravure/cendres, tandis que le PDP fournit une capacité supplémentaire pour fournir des gaz de traitement plus efficacement. La machine dispose également d'un contrôleur de débit massique interne (MFC) et de MFC externes optionnels qui permettent un contrôle précis de l'énergie ionique, contribuant à prévenir la rupture des plaquettes et à obtenir une excellente qualité de produit. La douche à paliers INDY B-L offre une réaction uniforme dans la direction verticale. Il offre également la flexibilité d'utiliser une variété de recettes de gravure/cendres qui peuvent être programmées pour différentes tailles de plaquettes et les processus d'appareil. Ces recettes peuvent également être ajustées en fonction de la pression, de la température et de la pression totale. TEL Indy-B-L offre également une productivité accrue avec un débit amélioré, un temps de cycle réduit et un rendement accru des plaquettes. Indy-B-L fournit également un port EGA/FIB intégré pour la caractérisation des plaquettes. Le double port EGA/FIB permet d'analyser les conditions de pression de réaction et de température pendant le processus de gravure/cendres, ainsi qu'une évaluation de la vitesse de gravure actuelle et de la quantité de matière enlevée dans le processus de gravure/cendres. INDY B L fournit également des composants supplémentaires tels qu'une machine de contamination et d'échappement pour aider à réduire les particules et les odeurs atmosphériques, et un panneau de gaz de purge pour protéger et comprimer la chambre de plasma. D'autres fonctionnalités incluent une connexion intégrée de port EGA/FIB, une interface opérateur avec le contrôle de recette de menu, ainsi que des interactions de sécurité et des alarmes qui protègent l'utilisateur et l'outil. Dans l'ensemble, TEL INDY B-L offre une gravure/cendrage précise et économique avec une excellente répétabilité, un meilleur débit et un contrôle optimal des procédés, ce qui en fait une solution idéale pour l'industrie des semi-conducteurs.