Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293637434 à vendre en France

ID: 293637434
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
LPCVD Furnace, 12" Wafer type: Si semi STD Notch (100) Production wafers Maximum operating temperature: 500-1000 N2 Load lock Boat type handling position O2 Density control for N2 Load lock N2 Boat shower wafer cooling 560A Furnace temperature controller VMM-56-002 Heater Wafer / Carrier handling: (25) Carrier type: FOUP ENTEGRIS A300 Carrier stage capacity: 16 Pin pad A, B Fork material: Al203 and peek With type: 1+4 Edge grip With auto teaching Furnace facilities: Furnace exhaust connection point: Top connection Cooling water connection point: Bottom connection Gas specification: IGS 1.5" W-seal rail-mount FUJIKIN IGS Tubing bend bend (Less than 90°) HORIBA STEC Incoming gas connection point: Bottom connection Gas vent connection point: Bottom connection Gas unit exhaust connection point: Bottom connection Process gas exhaust connection point: Bottom connection Exhaust specification: MKS Vacuum gauge-press controller MKS Vacuum gauge-press monitor MKS Vacuum gauge-pump monitor CKD-VEC Main valve Condenser Reactor specification: Tube material: Quartz (outter), quartz (inner) Inner tube type (LP): Straight Inner T/C: Outer tube inferior (wall type) Tube sealing: O Ring Soft backfill injector Boat type: (117) Slots, pitch, 8 mm Boat rotation Pedestal type: Quartz No shutter purge type Interface specification: Host communication: Comply with GJG Equipment host I/F Connection: Gas box top HSMS Ingenio OHT Capability Load port operation: Upper PIO I/F Location: FNC Top HOKUYO DMS-HB1-Z PIO RF Carrier ID Reader writer type CIDRW L/P: Read and write ASYST ATR 9100 CIDRW TEL CIDRW User interface Signal tower model: Customized Signal tower colors (From the top): Red / Green / Yellow Signal tower location: Front Front operation panel MMI and gas flow chart: Gas box and front operation panel installed Indicator type: Superset Operator switch: Operator access / orange Pressure display unit (Gas inlet / vacuum): Mpa / Pa Cabinet exhaust pressure display unit: Pa Gas leak detector: Gas1 / SiH4 Gas2 / PH3 Gas3 / ClF3 Cable length: FNC-Power box: 20 meter Power box -refill system: 30 meter Power specification: Voltage: 208 VAC, 3 Phase Phase connection type: Star connection Voltage single-phase: 120 VAC Single-phase connection type: Grounded Frequency: 60 Hz Power cable input entrance location: Power box top 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un graveur/asher conçu pour les industries des semi-conducteurs et des matériaux composés. C'est un équipement de gravure/cueillette avancé, fiable et très précis utilisé pour fabriquer les matériaux les plus fins. TEL INDY B L etcher dispose d'un système d'étages programmables qui peut remplir diverses fonctions telles que le pré-nettoyage, le dégazage, le cendrage, la gravure et la gravure/guérison. L'étape de pré-nettoyage est utilisée pour éliminer les contaminants du substrat tandis que l'étape de dégazage élimine les molécules de gaz indésirables. Le processus de cueillette élimine les atomes de surface, tandis que le processus de gravure élimine les couches délicates et dures du substrat. L'étape de gravure/cicatrisation permet de réduire les contraintes résiduelles sur le substrat. Le graveur utilise l'unité de refroidissement intelligente (SCS) avancée basée sur l'IA pour maintenir des températures optimales pour une gravure précise. TOKYO ELECTRON INDY B-L offre une large gamme de capacités de gravure spécialisées, y compris la gravure profonde, l'unification post-gravure et la gravure à basse température. La machine propose également des modifications de surface précises de pièces de 10 nanomètres, ce qui la rend idéale pour des applications haut de gamme telles que les MEM et les appareils LSI. L'etcher est également entièrement automatisé et peut être exploité grâce à son interface tactile simple. TOKYO ELECTRON INDY B L offre également des caractéristiques de sécurité complètes pour assurer la protection de ses opérateurs et de l'environnement environnant. Il est équipé d'un outil de détection des fuites sous vide (VLDS) très sophistiqué pour identifier les fuites potentielles. Il comporte également un actif normalisé d'approvisionnement en gaz (SGSS), où les gaz ne sont fournis que par le modèle si les conditions de sécurité le permettent. Enfin, l'équipement innovant de refroidissement écologique (KIECS) permet de conserver l'énergie en réduisant automatiquement la consommation de gaz lors des pauses. Dans l'ensemble, Indy-B-L est un graveur/asher sophistiqué conçu pour des applications haut de gamme dans les industries des semi-conducteurs et des matériaux composés. Il dispose de fonctionnalités avancées telles que le SCS, VLDS, SGSS et KIECS, et offre une gravure de précision jusqu'à l'échelle du nanomètre. Ses caractéristiques de sécurité garantissent des conditions de sécurité optimales et son interface tactile sophistiquée le rendent facile à utiliser.
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