Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293637434 à vendre en France
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ID: 293637434
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
LPCVD Furnace, 12"
Wafer type: Si semi STD Notch
(100) Production wafers
Maximum operating temperature: 500-1000
N2 Load lock
Boat type handling position
O2 Density control for N2 Load lock
N2 Boat shower wafer cooling
560A Furnace temperature controller
VMM-56-002 Heater
Wafer / Carrier handling:
(25) Carrier type: FOUP
ENTEGRIS A300
Carrier stage capacity: 16
Pin pad A, B
Fork material: Al203 and peek
With type: 1+4 Edge grip
With auto teaching
Furnace facilities:
Furnace exhaust connection point: Top connection
Cooling water connection point: Bottom connection
Gas specification:
IGS 1.5" W-seal rail-mount
FUJIKIN IGS
Tubing bend bend (Less than 90°)
HORIBA STEC
Incoming gas connection point: Bottom connection
Gas vent connection point: Bottom connection
Gas unit exhaust connection point: Bottom connection
Process gas exhaust connection point: Bottom connection
Exhaust specification:
MKS Vacuum gauge-press controller
MKS Vacuum gauge-press monitor
MKS Vacuum gauge-pump monitor
CKD-VEC Main valve
Condenser
Reactor specification:
Tube material: Quartz (outter), quartz (inner)
Inner tube type (LP): Straight
Inner T/C: Outer tube inferior (wall type)
Tube sealing: O Ring
Soft backfill injector
Boat type: (117) Slots, pitch, 8 mm
Boat rotation
Pedestal type: Quartz
No shutter purge type
Interface specification:
Host communication: Comply with GJG
Equipment host I/F Connection: Gas box top HSMS
Ingenio
OHT Capability
Load port operation: Upper
PIO I/F Location: FNC Top
HOKUYO DMS-HB1-Z PIO
RF Carrier ID Reader writer type
CIDRW L/P: Read and write
ASYST ATR 9100 CIDRW
TEL CIDRW
User interface
Signal tower model: Customized
Signal tower colors (From the top): Red / Green / Yellow
Signal tower location: Front
Front operation panel
MMI and gas flow chart: Gas box and front operation panel installed
Indicator type: Superset
Operator switch: Operator access / orange
Pressure display unit (Gas inlet / vacuum): Mpa / Pa
Cabinet exhaust pressure display unit: Pa
Gas leak detector:
Gas1 / SiH4
Gas2 / PH3
Gas3 / ClF3
Cable length:
FNC-Power box: 20 meter
Power box -refill system: 30 meter
Power specification:
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Phase connection type: Star connection
Voltage single-phase: 120 VAC
Single-phase connection type: Grounded
Frequency: 60 Hz
Power cable input entrance location: Power box top
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un graveur/asher conçu pour les industries des semi-conducteurs et des matériaux composés. C'est un équipement de gravure/cueillette avancé, fiable et très précis utilisé pour fabriquer les matériaux les plus fins. TEL INDY B L etcher dispose d'un système d'étages programmables qui peut remplir diverses fonctions telles que le pré-nettoyage, le dégazage, le cendrage, la gravure et la gravure/guérison. L'étape de pré-nettoyage est utilisée pour éliminer les contaminants du substrat tandis que l'étape de dégazage élimine les molécules de gaz indésirables. Le processus de cueillette élimine les atomes de surface, tandis que le processus de gravure élimine les couches délicates et dures du substrat. L'étape de gravure/cicatrisation permet de réduire les contraintes résiduelles sur le substrat. Le graveur utilise l'unité de refroidissement intelligente (SCS) avancée basée sur l'IA pour maintenir des températures optimales pour une gravure précise. TOKYO ELECTRON INDY B-L offre une large gamme de capacités de gravure spécialisées, y compris la gravure profonde, l'unification post-gravure et la gravure à basse température. La machine propose également des modifications de surface précises de pièces de 10 nanomètres, ce qui la rend idéale pour des applications haut de gamme telles que les MEM et les appareils LSI. L'etcher est également entièrement automatisé et peut être exploité grâce à son interface tactile simple. TOKYO ELECTRON INDY B L offre également des caractéristiques de sécurité complètes pour assurer la protection de ses opérateurs et de l'environnement environnant. Il est équipé d'un outil de détection des fuites sous vide (VLDS) très sophistiqué pour identifier les fuites potentielles. Il comporte également un actif normalisé d'approvisionnement en gaz (SGSS), où les gaz ne sont fournis que par le modèle si les conditions de sécurité le permettent. Enfin, l'équipement innovant de refroidissement écologique (KIECS) permet de conserver l'énergie en réduisant automatiquement la consommation de gaz lors des pauses. Dans l'ensemble, Indy-B-L est un graveur/asher sophistiqué conçu pour des applications haut de gamme dans les industries des semi-conducteurs et des matériaux composés. Il dispose de fonctionnalités avancées telles que le SCS, VLDS, SGSS et KIECS, et offre une gravure de précision jusqu'à l'échelle du nanomètre. Ses caractéristiques de sécurité garantissent des conditions de sécurité optimales et son interface tactile sophistiquée le rendent facile à utiliser.
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