Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293637436 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un graveur/asher intérieur de plaquettes créant des couches minces d'oxyde sur des plaquettes semi-conductrices. C'est un équipement de gravure à sec haute performance, à débit moyen et à chambre unique. Le système est entièrement automatisé avec une interface d'opérateur offrant aux utilisateurs un contrôle et une optimisation des processus conviviaux. TEL INDY B L est capable de réaliser des processus de gravure et d'ashing pour une grande variété d'applications telles que CoO, AlOx, ITO, et d'autres. A l'intérieur de TOKYO ELECTRON INDY B-L il y a une chambre à quartz de 5 couches, des tuyaux de pression réglables et 4 sorties de purge de jet N2 commandées indépendamment. La pression est surveillée et contrôlée par les composants à l'intérieur du support de commande ; un capteur envoie des lectures à l'extérieur et à l'intérieur de la chambre. Les sorties de purge N2 et les paramètres installés dans l'éther/asher permettent un échappement précis et complet des gaz de réaction pour les plaquettes sans résidus. TEL Indy-B-L a une taille maximale de chambre allant de 200 mm à 8 pouces avec la température de traitement la plus élevée allant jusqu'à 400 ° C Le plasma à haute densité est généré par les magnécréons qui peuvent être ajustés individuellement afin d'obtenir des résultats de haute qualité avec un faible niveau de charge et d'excellentes caractéristiques d'adaptation sur l'axe de rotation. Le plasma source ECR offre une meilleure uniformité dans la gravure en couche active à une vitesse de gravure plus élevée et une meilleure sélectivité que les sources d'arc traditionnelles. INDY B-L est également équipé d'un filtre absorbant qui change automatiquement de couleur afin d'indiquer le degré de contamination. Cette fonctionnalité est utile pour maintenir une qualité constante dans les processus par lots et monobloc. L'absorbant absorbera et recueillera les particules de poussière du processus de gravure ou de cueillette, l'empêchant d'entrer dans la machine et contaminant les plaquettes. Le robot programmable de manutention de plaquettes et le bras de transfert inclus avec TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L permet le traitement par lots et simple plaquette. Il offre également une manipulation facile et sûre des plaquettes pour un seul opérateur. De plus, il existe un outil laser de détection de plaquettes qui assure que le robot reste calibré et atteint la position optimale lors du transfert et de la gravure des plaquettes. TEL INDY B-L avec sa source de plasma ECR et le réglage précis du four fournit une gravure/câblage répétable avec des erreurs d'uniformité faibles, un excellent contrôle du processus et un faible coût de maintenance. C'est un atout très fiable avec des commandes d'interface utilisateur simples et intuitives et des fonctions d'alerte, idéal pour les applications de traitement par lots et monobloc.