Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293637439 à vendre en France
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ID: 293637439
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2012
LPCVD Furnace, 12"
Wafer type: Si semi STD Notch
(100) Production wafers
Maximum operating temperature: 500-1000
N2 Load lock
Boat type handling position
O2 Density control for N2 Load lock
N2 Boat shower wafer cooling
560A Furnace temperature controller
VMM-56-002 Heater
Wafer / Carrier handling:
(25) Carrier type: FOUP
ENTEGRIS A300
Carrier stage capacity: 16
Pin pad A, B
Fork material: Al203 and peek
W/T Type: 1+4 Edge grip
W/T Auto teaching
Furnace facilities:
Furnace exhaust connection point: Top connection
Cooling water connection point: Bottom connection
Gas specification:
IGS 1.5" W-seal rail-mount
FUJIKIN IGS
Tubing bend bend (Less than 90°)
HORIBA STEC
Incoming gas connection point: Bottom connection
Gas vent connection point: Bottom connection
Gas unit exhaust connection point: Bottom connection
Process gas exhaust connection point: Bottom connection
Exhaust specification:
MKS Vacuum gauge-press controller
MKS Vacuum gauge-press monitor
MKS Vacuum gauge-pump monitor
CKD-VEC Main valve
Condenser
Reactor specification:
Tube material: Quartz (outter), quartz (inner)
Inner tube Type (LP): Straight
Inner T/C: Outer tube inferior (wall type)
Tube sealing: O Ring
Soft backfill injector
Boat type: (117) Slots, pitch, 8 mm
Boat rotation
Pedestal type: Quartz
No shutter purge type
Interface specification:
Host communication: Comply with GJG
Equipment host I/F connection: Gas box top HSMS
Ingenio
OHT Capability
Load port operation: Upper
PIO I/F Location: FNC Top
HOKUYO DMS-HB1-Z PIO
RF Carrier ID reader writer type
CIDRW L/P: Read and write
ASYST ATR 9100 CIDRW
TEL CIDRW
User interface
Signal tower model: Customized
Signal tower colors (From the Top): Red / Green / Yellow
Signal tower location: Front
Front operation panel
MMI and gas flow chart: Gas box and front operation panel installed
Indicator type: Superset
Operator switch: Operator access / orange
Pressure display unit (gas inlet / vacuum): Mpa / Pa
Cabinet exhaust pressure display unit: Pa
Gas leak detector:
Gas1 / SiH4
Gas2 / PH3
Gas3 / ClF3
Cable length:
FNC-Power box: 20 meter
Power box -refill system: 30 meter
Power specification:
Voltage: 208 VAC, 3 Phase
Phase connection type: Star connection
Voltage single-phase: 120 VAC
Single-phase connection type: Grounded
Frequency: 60 Hz
Power cable input entrance location: Power box top
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un graveur (aussi appelé asher) utilisé dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un équipement monobloc construit sur une plate-forme automatisée et fournit une grande précision. Il dispose d'un système de chargement/déchargement qui peut traiter plus de 300 plaquettes/heure, assurant un traitement rapide et précis tout en maintenant le rendement le plus élevé. TEL INDY B L est conçu avec une unité robuste et fiable qui permet un niveau extrême de productivité et de précision pour la fabrication la plus exigeante. TOKYO ELECTRON INDY B-L est livré avec un port de charge à entraînement direct qui minimise les temps de cycle et assure des conditions de gravure stables. Il dispose également d'une machine de manutention des plaquettes qui assure la sécurité des plaquettes pour le transfert en toute sécurité aux outils de traitement et qui empêche le désalignement ou la rupture lors de la manutention. TOKYO ELECTRON L'outil de contrôle avancé d'Indy-B-L et le centre de messages complet fournissent un aperçu en temps réel des processus de gravure, contribuant à garantir des résultats optimaux. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L dispose d'une technologie de pointe en plein air avec une variété de recettes de gravure. Cela permet une performance et une qualité constantes sur chaque plaquette et permet à l'graveur de graver avec une large gamme de gaz et de milieux. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L dispose également d'un module intégré d'analyse des processus qui permet de surveiller les processus en temps réel pour garantir des résultats optimaux tout en évitant toute surgravure. En plus de ces fonctionnalités, TOKYO ELECTRON INDY B L offre une large gamme de spécifications personnalisées pour répondre aux besoins du client. TEL Indy-B-L est disponible dans une gamme de tailles et de conceptions, peut être configuré pour une variété de supports, et offre des capacités de nettoyage in situ. Indy-B-L a également une large gamme de températures, permettant des processus précis et même. Dans l'ensemble, TEL INDY B-L est un graveur qui offre des performances et une qualité supérieures tout en offrant des rendements accrus et un temps de cycle rapide. Sa large gamme de caractéristiques et de configurations personnalisées en font une solution idéale pour la fabrication de semi-conducteurs.
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