Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293643318 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un équipement avancé de gravure et de cendrage conçu pour des applications dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs. TEL INDY B L est spécifiquement conçu pour être une plate-forme haute performance et très polyvalente, permettant aux utilisateurs d'atteindre à la fois un haut débit et une grande flexibilité. TOKYO ELECTRON INDY B-L se compose d'une plate-forme montée horizontalement contenant une suite complète de composants, y compris une tourelle, un module ashing, trois sources indépendantes Oxygène, CF4 et C3F8, deux sources de substrats indépendantes, deux largeurs latérales indépendantes, et une chambre de température unique. En outre, TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L comprend également un générateur de puissance RF et un mandrin de substrat flottant en option, permettant aux utilisateurs de personnaliser le système pour leurs besoins spécifiques de processus. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L utilise une conception d'oscillateur numérique, qui permet un contrôle précis de la fréquence et un réglage numérique rapide. L'utilisation de la tourelle distante fournit une installation de machine plus rapide et plus efficace pour chaque processus, optimisant la performance du processus de l'utilisateur. La qualité du procédé de gravure peut encore être améliorée en tirant parti des sources indépendantes Oxygène, CF4 et C3F8, ainsi que des sources à double substrat indépendant. Les sources à double substrat de TEL Indy-B-L permettent de traiter avec la même unité à la fois des matériaux de faible k et de haut k, ce qui élimine le besoin d'un graveur dédié pour chaque type de substrat. La qualité et les performances du procédé de gravure peuvent également être améliorées en tirant parti de la régulation avancée de la température et du générateur RF. La chambre de température de TOKYO ELECTRON Indy-B-L est scellée sous vide et dispose d'une machine de contrôle de température plasma avancée, permettant une gestion précise de la température avec une large gamme d'applications de procédé. Le générateur RF intégré de haute puissance d'INDY B-L est conçu pour permettre un contrôle précis de la fréquence et un réglage numérique rapide, améliorant considérablement la capacité de l'utilisateur à contrôler les paramètres plasmatiques du processus de gravure. En conclusion, TEL INDY B-L est un outil avancé de gravure et d'ashing conçu pour des applications dans le domaine de la fabrication de semi-conducteurs. INDY B L est spécifiquement conçu pour être une plate-forme haute performance et très polyvalente, permettant aux utilisateurs d'atteindre à la fois un haut débit et une grande flexibilité. La suite expansive de composants, combinée à la conception de l'oscillateur numérique, au contrôle avancé de la température et au générateur RF, font d'Indy-B-L un outil de gravure et de cendrage idéal pour les matériaux bas et haut de gamme.