Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293643320 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un graveur/asher conçu pour traiter une variété de processus de traitement de surface nécessaires dans une large gamme de fabrication de semi-conducteurs. Ce graveur/asher à forte spéculation dispose d'un certain nombre de fonctionnalités qui garantissent des vitesses de traitement plus rapides et une plus grande précision. Avec son équipement de confinement périphérique unique, il aide à minimiser les débris de processus, contribuant à réduire les temps d'arrêt dus à l'encrassement des buses de gravure ou à d'autres problèmes liés aux processus. Cela aide les utilisateurs à obtenir des rendements plus élevés avec des niveaux de fiabilité qui n'ont pas été vus auparavant. Il adopte un système plasma basse pression qui élimine le temps de dégazage et obtient un taux de gravure plus élevé. Il supporte également la gravure sèche, la bande sèche et la bande humide dans une large gamme de gaz de procédé et est compatible avec les procédés de gravure à base d'halogénure et de bande de plasma. L'graveur/asher possède un support de substrat à température contrôlée qui assure des conditions uniformes de gravure. Cela aide à prévenir les chocs thermiques et améliore la stabilité du processus. Il dispose également d'un bras de transfert de haute précision qui réduit le temps d'arrêt de l'unité, lui permettant de prendre avec précision les substrats de haut en bas tout en maintenant des conditions de processus sécuritaires et en raccourcissant le temps de chargement/déchargement du substrat. TEL INDY B L dispose également d'une machine de contrôle radiofréquence plasma à écran plat à commande RF qui permet d'assurer la concentration et l'uniformité dans tous les processus de gravure. Cela permet de réduire le temps de traitement et la distorsion du substrat. Enfin, cet etcher/asher est équipé d'un outil de nettoyage haute performance et d'un atout d'assurance qualité pour s'assurer que les substrats traités répondent aux normes les plus élevées. L'équipement électronique de contrôle du modèle assure une reproductibilité totale du procédé, ce qui en fait l'outil idéal pour assurer un traitement de haute qualité pour les applications semi-conductrices les plus exigeantes.