Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293643336 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L (Induction Etcher/Asher) est une machine de procédé sous vide de haute précision développée par TEL spécifiquement pour la fabrication de semi-conducteurs. Ce graveur/asher est conçu pour obtenir des résultats de gravure verticale avec une excellente uniformité de procédé, une faible génération de particules et une gravure de haute précision. TEL INDY B L facilite la gravure profonde de structures à très petite échelle et fournit un excellent contrôle de profil pour les structures à haut rapport d'aspect. TOKYO ELECTRON INDY B-L propose trois types de gravure : la gravure par induction anisotrope (AIE), la gravure par induction isotrope (IIE) et la gravure tétraédrique (TE). AIE fournit des gravures très directionnelles (très anisotropes) qui sont bien adaptées pour former des caractéristiques de flanc raide tandis que IIE et TE peut être utilisé pour créer des profils légèrement inclinés. En outre, le procédé TE peut être ajusté pour assurer un contrôle de gravure précis afin de fabriquer des structures tridimensionnelles précises avec une précision de gravure très précise. TEL Indy-B-L est équipé d'un environnement multi-chambres et est capable d'effectuer des processus de gravure et de cueillette sur la même machine. La chambre de gravure utilise une bobine inductive alimentée par micro-ondes à basse pression et est conçue pour éviter l'ionisation accidentelle du matériau lors du traitement. La chambre de cueillette utilise un gaz réactif pour faciliter une uniformité de gravure plus rapide et des débits plus élevés. INDY B L dispose également d'un équipement de contrôle de gravure/traitement avancé qui utilise une interface utilisateur basée sur l'interface graphique qui est couplée à un système informatique propriétaire de qualité industrielle. Cette unité permet un contrôle précis et précis des résultats de gravure grâce à l'environnement intuitif de menu. La machine offre également une variété de diagnostics, d'historique des processus, de transfert de données et de modèles de paramètres pour une gravure/traitement très efficace et fiable des résultats de haute qualité. En résumé, TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L est un outil de gravure/ashing avancé conçu pour les processus semi-conducteurs les plus exigeants. La machine offre une excellente uniformité de gravure, le contrôle des particules et le contrôle du profil, et est soutenue par un puissant atout de contrôle. INDY B-L est particulièrement bien équipé pour graver avec précision et précision les structures à petite échelle, et peut être utilisé pour une large gamme de différentes fins de gravure et de traitement.