Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293809898 à vendre en France
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ID: 293809898
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Vertical furnace, 12"
Process: D-Poly
Hard Disk Drive (HDD)
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un graveur/asher conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et de circuits intégrés. Il s'agit d'un équipement très polyvalent, intégré et à réponse rapide, idéal pour une large gamme d'applications telles que l'isolation de tranchées peu profondes (STI), la gravure métallique à haut rapport d'aspect, la bande métallique de tranchées peu profondes et l'isolation de tranchées peu profondes (STI) et l'isolation de tranchées profondes (DTI). TEL INDY B L utilise les technologies les plus récentes dans la fabrication de semi-conducteurs. Il dispose du système de contrôle de la propreté (CST) TEL propriétaire pour les films gravés contrôlés, ce qui entraîne moins de défauts, et d'une unité de transfert d'échantillons robuste (RST) avec un concept de transport d'échantillons innovant qui permet un processus à haut débit. TOKYO ELECTRON INDY B-L peut accueillir différents matériaux sources, et ses sections Etch et Asher offrent une large gamme de flexibilité et de précision. INDY B L peut être utilisé pour graver la bande métallique des tranchées peu profondes pour les dispositifs de contact enterrés et les fils de motif, l'isolation des tranchées peu profondes pour la métallisation des contacts et de l'entrelacement et l'isolation des tranchées profondes pour l'isolation des dispositifs. Le processus de gravure est hautement personnalisable, avec des temps de gravure sélectionnables, des températures, des pressions et des débits de gaz. Il comprend également des fonctions programmables de contrôle du plasma, pour le traitement efficace de différents films. Dans sa section Asher, TEL INDY B-L dispose d'une machine de refroidissement intégrée et d'une buse à surface variable pour une répartition uniforme des réactifs le long de la surface de la plaquette, ainsi que d'un canon à flot intégré qui dépose un film uniforme sur la surface de la plaquette pour éviter le redéploiement. La section Asher dispose également d'une interface tactile qui permet une configuration et un fonctionnement faciles des processus de gravure et de cueillette. En conclusion, TEL Indy-B-L etcher/asher est un outil intégré et performant conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et de circuits intégrés. Il dispose d'une gamme de technologies avancées pour les films gravés contrôlés et d'une interface conviviale pour une configuration et un fonctionnement simples. Ses procédés de gravure et d'ashing hautement personnalisables le rendent idéal pour une variété d'applications dans la fabrication de semi-conducteurs.
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