Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293810872 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un graveur ou asher de haute précision pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cet outil de procédé de gravure humide promet une gravure ultra-précise des films diélectriques et métalliques sur toute plaquette semi-conductrice. Il est capable de graver jusqu'à 0,375 μ m de films d'épaisseur avec une précision de profil fiable de ± 0,2 μ m. TEL INDY B L a une précision de traitement élevée et un fonctionnement efficace pour un grand nombre de recettes. Le processus de gravure est principalement interactif et guidé par le logiciel de contrôle des processus. Sa chambre est conçue intérieurement pour réduire fortement et uniformément la pression pour une gravure constante de la pression. De plus, la chambre comporte un échangeur de chaleur en circulation gazeuse pour assurer des températures stables. TOKYO ELECTRON INDY B-L dispose d'une homogénéité de température inférieure à ± 2 ° C et de deux ports d'observation pour la surveillance in situ des résultats de gravure. La vitesse de rotation de la plaquette peut varier entre 500 tr/min et 5 000 tr/min pour assurer une gravure plus précise. La source frontale contient un amplificateur qui produit une tension haute fréquence pour induire une variation de la chimie des gravures pour un contrôle précis des gravures. La source dispose également d'une fonction d'écoute automatique, qui lui permet d'optimiser automatiquement les paramètres de la source en fonction du matériau gravé et des conditions de gravure. Les caractéristiques de sécurité spéciales de TEL Indy-B-L comprennent une soupape d'évacuation d'urgence, des gouttes d'eau intégrées et des systèmes de collecte et de neutralisation des acides. Dans l'ensemble, il fournit un procédé de gravure extrêmement fiable, économique et précis pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.