Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #293825595 à vendre en France

ID: 293825595
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Furnace, 12" Process: TEOS 2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un graveur/asher conçu pour être utilisé pour une large gamme de processus de gravure et d'ashing. C'est un graveur/asher qui peut être utilisé à la fois pour les applications de laboratoire et de production. Le dispositif est composé d'un contrôleur, d'une armoire à gaz, d'une chambre de gravure et d'une pince. L'armoire à gaz contient les gaz qui seront utilisés dans les processus de gravure et de cueillette, et est reliée à la chambre par l'intermédiaire de la pince. Le contrôleur abrite les circuits d'entrée/sortie numériques et analogiques et contient des paramètres qui peuvent être ajustés pour le processus de gravure et de cueillette. Les paramètres de la température, de la pression, et d'autres conditions peuvent être ajustés pour créer une etchal ou des cendres précises pour une application particulière. Dans la chambre de gravure, on peut utiliser à la fois une gravure humide et un procédé de cendrage. Pour une gravure humide, des produits chimiques humides sont utilisés pour créer une gravure à la surface d'un matériau métallique ou semi-conducteur. Les produits chimiques utilisés dans le processus de gravure humide sont généralement des halogénures d'hydrogène, tels que l'acide chlorhydrique et l'acide fluorhydrique. Dans le processus de cueillette, une gravure sèche utilise l'érosion physique et électrique pour graver la surface d'un matériau. Le procédé de gravure sèche utilise un gaz fluorocarboné, tel que le CF2, et un plasma riche en oxygène. TEL INDY B L a de multiples fonctionnalités. Le dispositif peut être utilisé pour graver des couches simples ou multiples sur un seul substrat. Il a également la capacité d'effectuer des gravures avec différentes conditions d'impulsions. Le dispositif dispose de fixations intégrées et de cadres de support mobiles pour la gravure multicouche. Il comprend également un système de surveillance continue de la profondeur de gravure et du point d'extrémité. En outre, plusieurs tailles de chambres de gravure sont disponibles, permettant un traitement de grande surface et des taux de gravure flexibles. Enfin, TOKYO ELECTRON INDY B-L présente de nombreuses caractéristiques de sécurité. Ceux-ci comprennent plusieurs niveaux de contrôle du lock-out, la purge automatique des gravures avant et après le processus, et un système de verrouillage externe. Toutes ces caractéristiques font de TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L un système de gravure et de cueillette fiable et sûr.
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