Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9176040 à vendre en France
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Vendu
ID: 9176040
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
Vertical MLD AlO/HfO furnace, 12"
Process capability: Al203 and Hf02
Software revision: 6.10R001 (latest version)
Control type: Waves
Com module version: G607R01-A9990000
Dual FOUPS
(16) FOUP Stackers
Options: N2 Load lock, Low temp heater
Includes:
Cabinets / Units / Controllers:
Furnace cabinet
Power supply unit
Control unit
Main controller (WAVES)
Temperature controller
Cassette and wafer handling automation:
Auto tube shutter
Boat elevator with boat rotation mechanism
Wafer load automation
Load port system
Cassette load automation
(16) FOUP Stackers
MLD AlO/HfO Specific option:
Integrated gas system for AlO/HfO process:
Purge N2 gas line
Vaporizer unit for TMA precursor
Vaporizer unit for TEMAH precursor
Ozonizer unit
N2 Load lock:
O2 Density monitor in the loading area
N2 Gas system
Low temperature heater (VMM-56-104)
Vacuum foreline configuration with stainless steel manifold
2nd Gas Box
Set of AlO/HfO quartzware
System options:
Ionizer
UPS
Gas detectors:
TMA
O3
HCL
TEMAH
Octane
Includes:
Manuals
Currently installed
2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un instrument de gravure/asher polyvalent utilisé pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir une excellente planéité de substrat et une excellente répétabilité de forme lors des processus de gravure et de cueillette. TEL INDY B L utilise un équipement de gravure électrochimique unique qui contrôle avec précision les vitesses de gravure et de cendrage. Ce système utilise un boîtier d'alimentation pour contrôler la densité du courant, et un dispositif de détection du niveau de liquide pour maintenir un niveau de liquide constant pendant le processus de gravure/cueillette. En conséquence, TOKYO ELECTRON INDY B-L offre des rendements de gravure et de cendrage supérieurs. INDY B-L dispose également d'une unité de refroidissement intégrée qui offre des vitesses de gravure plus rapides ainsi qu'une conception robuste pour assurer une excellente longévité de l'équipement. TEL INDY B-L dispose également d'une chambre de verrouillage de charge qui permet un contrôle précis de la température du substrat lors des processus de gravure et de cueillette. La chambre assure également un micro-nettoyage précis du substrat, éliminant les contaminants et permettant d'améliorer la fraîcheur du substrat pour les procédés de gravure et de cueillette. INDY B L dispose d'une machine à vide avancée qui permet une gravure sous-micron profonde. Cet outil permet également de maintenir avec précision les taux de gravure et d'ashing, ce qui permet un contrôle plus efficace des processus. De plus, le TOKYO ELECTRON Indy-B-L facilite le dépôt de réactifs uniformes sur le substrat, contribuant à améliorer le rendement du procédé lors des processus de gravure et de cueillette. TEL Indy-B-L comprend également un chargeur de particules intégré qui permet de charger rapidement et avec précision le substrat dans la machine de gravure/asher. Le chargeur permet une formation rapide du vide, permettant des processus de gravure et de cueillette plus rapides. En outre, TOKYO ELECTRON INDY B L dispose d'un actif de mélange électrochimique automatique avancé qui assure un contrôle précis des taux de gravure et de cendrage. Ce modèle maintient avec précision un équilibre de pH lors des processus de gravure et de cueillette, assurant des vitesses de réaction optimales entre le substrat et les réactifs. Dans l'ensemble, Indy-B-L est un instrument de gravure/cendrier avancé qui offre d'excellents rendements de gravure et de cendrage. Sa conception unique, son contrôle précis et ses fonctions de chargement et de déchargement efficaces en font une solution idéale pour fabriquer des semi-conducteurs.
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