Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9176040 à vendre en France

Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.

ID: 9176040
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2008
Vertical MLD AlO/HfO furnace, 12" Process capability: Al203 and Hf02 Software revision: 6.10R001 (latest version) Control type: Waves Com module version: G607R01-A9990000 Dual FOUPS (16) FOUP Stackers Options: N2 Load lock, Low temp heater Includes: Cabinets / Units / Controllers: Furnace cabinet Power supply unit Control unit Main controller (WAVES) Temperature controller Cassette and wafer handling automation: Auto tube shutter Boat elevator with boat rotation mechanism Wafer load automation Load port system Cassette load automation (16) FOUP Stackers MLD AlO/HfO Specific option: Integrated gas system for AlO/HfO process: Purge N2 gas line Vaporizer unit for TMA precursor Vaporizer unit for TEMAH precursor Ozonizer unit N2 Load lock: O2 Density monitor in the loading area N2 Gas system Low temperature heater (VMM-56-104) Vacuum foreline configuration with stainless steel manifold 2nd Gas Box Set of AlO/HfO quartzware System options: Ionizer UPS Gas detectors: TMA O3 HCL TEMAH Octane Includes: Manuals Currently installed 2008 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un instrument de gravure/asher polyvalent utilisé pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est conçu pour fournir une excellente planéité de substrat et une excellente répétabilité de forme lors des processus de gravure et de cueillette. TEL INDY B L utilise un équipement de gravure électrochimique unique qui contrôle avec précision les vitesses de gravure et de cendrage. Ce système utilise un boîtier d'alimentation pour contrôler la densité du courant, et un dispositif de détection du niveau de liquide pour maintenir un niveau de liquide constant pendant le processus de gravure/cueillette. En conséquence, TOKYO ELECTRON INDY B-L offre des rendements de gravure et de cendrage supérieurs. INDY B-L dispose également d'une unité de refroidissement intégrée qui offre des vitesses de gravure plus rapides ainsi qu'une conception robuste pour assurer une excellente longévité de l'équipement. TEL INDY B-L dispose également d'une chambre de verrouillage de charge qui permet un contrôle précis de la température du substrat lors des processus de gravure et de cueillette. La chambre assure également un micro-nettoyage précis du substrat, éliminant les contaminants et permettant d'améliorer la fraîcheur du substrat pour les procédés de gravure et de cueillette. INDY B L dispose d'une machine à vide avancée qui permet une gravure sous-micron profonde. Cet outil permet également de maintenir avec précision les taux de gravure et d'ashing, ce qui permet un contrôle plus efficace des processus. De plus, le TOKYO ELECTRON Indy-B-L facilite le dépôt de réactifs uniformes sur le substrat, contribuant à améliorer le rendement du procédé lors des processus de gravure et de cueillette. TEL Indy-B-L comprend également un chargeur de particules intégré qui permet de charger rapidement et avec précision le substrat dans la machine de gravure/asher. Le chargeur permet une formation rapide du vide, permettant des processus de gravure et de cueillette plus rapides. En outre, TOKYO ELECTRON INDY B L dispose d'un actif de mélange électrochimique automatique avancé qui assure un contrôle précis des taux de gravure et de cendrage. Ce modèle maintient avec précision un équilibre de pH lors des processus de gravure et de cueillette, assurant des vitesses de réaction optimales entre le substrat et les réactifs. Dans l'ensemble, Indy-B-L est un instrument de gravure/cendrier avancé qui offre d'excellents rendements de gravure et de cendrage. Sa conception unique, son contrôle précis et ses fonctions de chargement et de déchargement efficaces en font une solution idéale pour fabriquer des semi-conducteurs.
Il n'y a pas encore de critiques