Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9235796 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un graveur, également connu sous le nom d'asher, utilisé pour la fabrication microélectronique. C'est un équipement de gravure avancé qui est capable de produire des structures de dispositifs de haute qualité avec des géométries précises. Il dispose d'une capacité de débit élevée pour le traitement de substrats minces ou épais avec une large gamme de produits chimiques de procédé. TEL INDY B L est équipé d'une chambre de dépôt chimique en phase vapeur (CVD), permettant la gravure des oxydes et nitrures avec précision et précision. Le système est conçu pour une grande variété de substrats tels que des feuilles minces, des plaquettes de silicium et des panneaux rigides. TOKYO ELECTRON INDY B-L dispose d'une interface utilisateur avancée avec un écran tactile LCD intuitif de sept pouces, permettant aux utilisateurs d'entrer rapidement et facilement dans les recettes de processus. De plus, l'unité dispose d'une machine à chenilles très fiable qui assure un transfert précis des plaquettes. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L convient pour des applications de gravure telles que le polissage mécanique chimique (CMP), l'isolation de tranchées peu profondes (STI) et la gravure de grille métallique. L'outil peut traiter des vias et tranchées de différentes largeurs et profondeurs ainsi que des largeurs de lignes gravées aussi petites que 0,2 micron. De plus, TEL INDY B-L incorpore des plasmas haute performance générés par une source RF ICP (Inductively Coupled Plasma) avec des sorties allant de 100 W à 1,2 kW. En outre, INDY B L dispose d'un atout multi-zones conçu pour aider à traiter différents matériaux dans différentes zones tout en utilisant des paramètres de processus optimisés. Il est également livré avec un modèle de traitement à quatre chambres pour la gravure par lots à deux chambres. L'équipement dispose d'un système d'alimentation et de livraison de gaz optimisé, qui permet l'échappement rapide des produits chimiques de procédé, ce qui entraîne des délais de traitement plus courts. TOKYO ELECTRON Indy-B-L dispose d'une gamme de caractéristiques de sécurité pour l'opérateur et l'assurance de la production. Il est équipé d'une gamme de moniteurs et de capteurs tels que des moniteurs de pression, de température, de débit et de température de masque, ainsi que d'un moniteur de pression de chambre, pour assurer la stabilité du processus. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L est équipé d'une unité dédiée ESD (Electro Static Discharge) qui protège les circuits des dommages induits par ESD. En conclusion, TEL Indy-B-L est une machine de gravure très avancée avec une excellente interface utilisateur, une large compatibilité de substrat, des sorties de plasma variables et des caractéristiques de sécurité robustes. Il est idéal pour les applications de gravure microélectronique telles que CMP, STI, et la gravure de grille métallique, et peut produire des structures de dispositifs précises avec précision jusqu'à 0,2 microns.