Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9244878 à vendre en France
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ID: 9244878
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Diffusion furnace, 12"
Hard Disk Drive (HDD) Missing
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un graveur/asher haute performance pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est principalement utilisé pour la rectification de dos, la gravure de taper, le traitement topographique, la gravure de back spacer et d'autres applications critiques. Il peut être utilisé pour divers procédés d'amincissement d'une plaquette semi-conductrice tels que la préparation d'échantillons TEM/FIB, le broyage d'échantillons, la gravure de l'espaceur latéral arrière, l'ébauche de surface, le traitement de fond de ligne, et d'autres. La machine dispose d'une grande précision, grande surface de travail double, et temps de gravure rapide. TEL INDY B L etcher/asher est équipé d'une carte en cascade de gravure sèche, qui est un processus entièrement automatisé développé par TEL. Ce processus offre un contrôle supérieur des processus, une flexibilité améliorée et des économies. Il est également équipé d'un système intégré de suivi des processus qui garantit que tous les processus fonctionnent dans les conditions optimales. Ce système surveille la pression, la température, la vitesse de gravure et le timing pour maintenir un état optimal. TOKYO ELECTRON INDY B-L est conçu avec une zone de travail spacieuse qui offre amplement d'espace pour la manipulation facile des plaquettes pendant le processus de gravure. La grande surface de travail a été conçue pour que les opérateurs puissent facilement déplacer ou ajuster les plaquettes pendant le processus de gravure. De plus, la machine est capable de traiter de grands substrats de dimension maximale en plan de 500 mm x 500 mm. Les capacités de gravure à grande vitesse de TEL INDY B-L le rendent adapté au traitement d'une variété de substrats et d'applications. Par exemple, il est capable de traiter plusieurs échantillons en même temps pour des applications à haut débit. Il dispose également d'une fonction de gravure assistée par laser, capable de traiter des profondeurs de caractéristiques inférieures à 30 nm, ainsi que la sortie de cartes détaillées de plaquettes qui peuvent être utilisées pour localiser les défauts et suivre les performances du processus. TOKYO ELECTRON Indy-B-L est conçu avec une variété de caractéristiques de sécurité telles qu'un espace de travail entièrement fermé en acier inoxydable et un système de collecte de poussière. Cela permet d'assurer un environnement de travail propre et sûr pour les processus de gravure. En outre, la machine est conçue avec une grande variété de fonctions de contrôle de gaz de gravure telles qu'un moniteur de débit, un moniteur de pression statique et un moniteur de température. Au total, INDY B L a été conçu pour offrir des performances de gravure supérieures pour un large éventail d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est capable de fournir une grande vitesse, une grande précision et des processus de gravure fiables avec toutes les précautions de sécurité nécessaires. De plus, le contrôle automatisé des processus le rend adapté aux applications à haut débit.
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