Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9270215 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un graveur/asher conçu pour le traitement avancé des semi-conducteurs. Il est capable de gravure de précision et d'exposer la résine photosensible sur des plaquettes jusqu'à 8 pouces de diamètre. TEL INDY B L utilise un procédé à haute pureté, à froid, gravure plasma avec un procédé de gravure vaporisée à basse pression pour produire des motifs à haute résolution dans des matériaux semi-conducteurs avancés. Le procédé de gravure à haute pression de TOKYO ELECTRON INDY B-L utilise un procédé propriétaire de gravure à haute pression qui est autonome et conduit à une contamination minimale. L'etcher utilise des systèmes d'injection avancés pour les gaz de gravure de haute pureté et les gaz de réaction, afin de maintenir une faible pression plasmatique et des procédés de gravure de haute qualité. TEL INDY B-L utilise des systèmes avancés d'injection de gaz pour contrôler les paramètres plasmatiques, assurer une distribution plasma très homogène et prévenir l'accumulation de produits de réaction. Cet équipement permet également de contrôler avec précision les recettes de gravure et de les ajuster pour une gamme de structures et de matériaux de plaquettes. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L est très polyvalent et peut traiter une variété de matériaux tels que des silicures, des nitrures, des oxydes et des carbures. Il dispose également d'une large gamme de tailles de chambres de gravure configurables et de substrats pour de multiples types de plaquettes. Il est également capable de graver des structures complexes telles que des vias, des contacts, des lignes et des tranchées dans n'importe quelle forme et profondeur. La machine peut également gérer des structures à haut rapport d'aspect telles que des couches d'oxyde de grille. INDY B-L offre également un certain nombre d'options de contrôle différentes telles que les dispositifs Load Lock pour contrôler le chargement et le déchargement des plaquettes, et un système Wafer Baffle pour diriger le flux de plasma. Il comprend également une unité de contrôle CHCV qui règle automatiquement la pression de la chambre et les taux de gravure, et une porte de chambre de laminage pour un accès facile pour remplacer les pièces. L'etcher dispose d'une machine de contrôle de température en temps réel qui peut être utilisée pour surveiller les températures des plaquettes et assurer des conditions de gravure optimales. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L est un graveur/asher avancé conçu pour fournir d'excellents résultats de gravure et de formation de motifs précis. INDY B L est capable de graver des structures délicates et complexes à haute résolution et à faible contamination. Avec ses fonctions polyvalentes et ses commandes automatisées, TOKYO ELECTRON INDY B L est un choix idéal pour tout traitement semi-conducteur avancé.