Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394496 à vendre en France

TEL (TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L) est un graveur/asher conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il est capable de traiter par lots jusqu'à 100 plaquettes simultanément et est très fiable et fiable. TEL INDY B L est livré avec une grande variété de procédés et d'applications de gravure, allant de la gravure de tranchées peu profondes, gravure ionique réactive profonde (DRIE), à la gravure à la vapeur. Le processus de gravure est réalisé à l'aide de plasma à couplage inductif (ICP) à fréquence et phase variables afin d'optimiser l'uniformité, la sélectivité et la vitesse de gravure des gravures. TOKYO ELECTRON INDY B-L dispose également de manutentions automatisées de plaquettes pour les applications de gravure par voie humide et de traitement à sec, y compris le séchage par rinçage au spin et l'alignement des plaquettes. La machine est équipée d'un équipement de détection du point d'extrémité de haute précision pour une détection précise du point d'extrémité, et d'un système de post-gommage du point d'extrémité qui permet des rendements de processus plus élevés. De plus, la machine est capable de manipuler de façon sûre et précise différents types de récipients réactionnels pour tous les processus de gravure. TOKYO ELECTRON Indy-B-L est équipé de systèmes de sécurité active et passive pour assurer le plus haut niveau de sécurité des utilisateurs et protéger l'environnement. La machine offre une large gamme d'alarmes programmables et de capteurs de sécurité, tels que des boutons d'arrêt d'urgence, pour détecter toute situation dangereuse. Afin d'assurer des résultats cohérents et fiables, INDY B L est conçu pour un suivi complet des processus et des unités. L'ordinateur de bord surveille constamment les conditions du processus, y compris la pression, la température et d'autres paramètres. La machine dispose également d'un outil de correction automatique pour ajuster automatiquement les paramètres lorsque nécessaire pour améliorer le contrôle du processus. INDY B-L est le choix idéal pour la fabrication de semi-conducteurs, pour une production de faible et de haut volume en raison de sa haute qualité et de ses performances fiables. La machine est conçue pour un entretien facile et un nettoyage rapide afin de minimiser les temps d'arrêt et d'augmenter le débit global.