Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394500 à vendre en France
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ID: 9394500
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Furnace, 12"
Plasma Assisted Process (PAC) Module
Gases:
N2O
NH3
SiH2Cl2
SiH4
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est une gravure/asher humide puissante et précise. Ce dispositif est un équipement de gravure humide en demi-lot conçu pour un contrôle précis des temps de gravure et des solutions. C'est une machine entièrement automatisée qui permet des solutions chimiques précises et un contrôle précis des paramètres comme la vitesse de gravure et la vitesse de gravure. Avec l'adaptation automatisée des paramètres, TEL INDY B L peut fournir des résultats de gravure précis au niveau micron précision. Il est idéal pour les applications d'ingénierie de surface comme le traitement des plaquettes, le nettoyage des substrats, ainsi que l'abrasion des photomasques. TOKYO ELECTRON INDY B-L est entièrement automatisé et nécessite une interaction utilisateur minimale. Il est équipé d'un système d'inspection de la vision descendante qui fournit précision et précision pendant le processus de gravure. Cette unité permet également à l'utilisateur de graver une certaine zone et de générer un aperçu des résultats finaux, avant d'effectuer la gravure proprement dite. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L peut être configuré avec une gamme de solutions de gravure, telles que des hydrofluorocarbures, des solutions détergentes et des solutions très évaporantes. La machine permet également aux utilisateurs de choisir entre une gravure à haute température, à basse température et à température prolongée. TEL Indy-B-L est équipé d'un outil à deux chambres qui permet la gravure à plusieurs étages. Cela signifie que l'utilisateur peut graver différents substrats avec le même ensemble de paramètres, et lui permet d'exécuter une technologie de gravure différente de la première chambre à la seconde. L'actif est également conçu avec une grande variété de ports de gravure, allant de petits à grands, et des substrats minces à épais. Les caractéristiques de sécurité intégrées de TOKYO ELECTRON INDY B L en font un choix idéal pour la gravure humide des plaquettes et substrats sensibles. Il comprend des capteurs de pression, des capteurs de température et des capteurs de niveau pour protéger les outils et les utilisateurs. En outre, il dispose d'une gamme de fonctions de récupération des défaillances, telles que l'arrêt d'urgence, le contrôle de la température et le contrôle anti-contamination à grande vitesse. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L est un outil de gravure humide puissant et précis conçu pour la précision et la sécurité. Ses fonctions automatisées, de contrôle de précision et de sécurité en font un choix idéal pour l'ingénierie de surface et les applications d'abrasion photomasque.
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