Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394956 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un graveur/asher de nouvelle génération utilisé dans les procédés de fabrication de semi-conducteurs. C'est une solution leader de l'industrie, à faible coût, qui offre une uniformité de débit et de wafer exceptionnelle, contribuant à réduire les coûts des appareils et à améliorer la rentabilité globale. TEL INDY B L etcher/asher utilise une technologie de gravure avancée et des sources de gravure propriétaires pour offrir des performances de pointe sur le marché. Sa conception robuste repose sur un procédé CVD-PVD en une seule étape fiable, permettant à un seul outil d'effectuer toutes les étapes de gravure, d'élimination des impuretés, de dépôt et d'implantation ionique, ce qui permet d'améliorer les temps de cycle et l'efficacité du débit. TOKYO ELECTRON INDY B-L est particulièrement adapté pour la gravure plasma à basse température, avec des temps de réaction rapides, une haute sélectivité de gravure et une uniformité. Utilisant une variété de gaz sources, des canaux de mélange de procédés et un four intégré pour programmer différents profils, l'outil permet également la gravure métallique de précision des films SiO2/SiN/Si3N4/SiON. En outre, son équipement automatisé de manutention des plaquettes avec bras robotisé tridimensionnel assure un chargement et une commutation plus rapides des plaquettes, tandis que son système avancé d'enregistrement des données facilite la surveillance détaillée des processus et la collecte de données pour soutenir l'amélioration du rendement des processus. Indy-B-L etcher/asher est également capable de traitement par lots, permettant le traitement simultané de plusieurs plaquettes. Il dispose également d'une unité d'auto-désinfection qui aide à éliminer les particules pour prévenir la contamination. En outre, il est équipé de la technologie de nettoyage automatique des mandrins, permettant une plus grande précision et productivité dans les temps de cycle de nettoyage. En conclusion, TOKYO ELECTRON INDY B L est une machine de gravure/cendrage avancée, offrant une grande uniformité de débit et de processus, une efficacité et des économies, ainsi qu'une uniformité, une précision et une précision supérieures des plaquettes.