Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394957 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L
ID: 9394957
Taille de la plaquette: 12"
Furnace, 12" DCS-Nitride.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un équipement de gravure et de cendrage construit avec une technologie de pointe pour la fixation précise et efficace des substrats de plaquettes. Ce système a été conçu pour maximiser les capacités des procédés de gravure et d'ashing, notamment dans la fabrication de semi-conducteurs. En utilisant des systèmes dédiés pour chacun des processus de gravure et d'ashing, TEL INDY B L permet l'optimisation précise des paramètres de gravure, tels que les pressions de gazage et les températures des chambres, tout en optimisant le retrait des cibles des substrats. Il en résulte une amélioration du rendement du substrat et de la fiabilité du circuit. L'unité dispose d'une boîte à gaz qui fonctionne dans une plage de pression optimale pour chacun des gaz de fonctionnement, contribuant à assurer une distribution uniforme des gaz pour une meilleure sélectivité des gravures. TOKYO ELECTRON INDY B-L est également équipé d'alimentations d'électrodes dédiées qui sont conçues pour des sorties stables et uniformes pour améliorer l'uniformité du plasma. Ceci permet d'obtenir un contrôle précis de la gravure au moyen d'un réglage fin de la pression du gaz, permettant des résultats précis et uniformes. De plus, un mécanisme de verrouillage de charge empêche le mélange des gaz de gravure et de soutirage tout en permettant un chargement simple et pratique des plaquettes. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B-L bénéficie également d'une machine de commande avancée intégrée qui a été conçue pour un contrôle précis de la température et de la distribution du gaz pendant chaque processus. Cela permet de maximiser le débit des plaquettes, tout en permettant un contrôle uniforme des paramètres pour améliorer les résultats. Un intérieur de chambre enduit permet également d'éviter la contamination lors de la gravure, ce qui permet de sécuriser les rendements potentiels du dispositif. En outre, une capacité de décapage de résistance a été incorporée dans l'outil TOKYO ELECTRON INDY B L, permettant d'éliminer efficacement les résidus de carbone indésirables des substrats. Il en résulte une amélioration du rendement et de la fonctionnalité des produits, tout en réduisant l'utilisation de produits chimiques dangereux. En conclusion, TEL INDY-B-L offre des capacités de gravure et d'ashing sophistiquées qui sont conçues pour répondre aux exigences de l'industrie moderne des plaquettes de haute précision. Ce modèle offre une gamme de caractéristiques qui améliorent les capacités des processus de gravure et d'ashing, ce qui améliore les rendements et la fiabilité du circuit.
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