Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9394959 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un équipement SI multi-wafer, haut débit, graveur/asher de traitement par lots avec une taille maximale de plaquette de 75 mm. Ce système de haute technologie offre d'excellentes performances dans divers procédés de gravure/ashing tels que MEMS, SOI, relief de contrainte, anisotropie, et des applications de cuivre. Cette unité dispose d'une machine de commande d'intervertissage dédiée et d'un générateur RF contrôlé par PID pour gérer efficacement la puissance et la pression lors des étapes du processus. Il est équipé d'un HMI (interface homme-machine) qui permet d'ajuster les paramètres, de surveiller les paramètres du processus et d'accéder aux informations pertinentes du processus. Le générateur RF de TEL INDY B L offre un contrôle précis de la puissance, de la pression et de la fréquence, permettant des processus de gravure/cueillette extrêmement précis et reproductibles. Cet outil comprend également 100 recettes automatisées, ainsi que l'enregistrement des données et les paramètres d'alarme pour chaque étape du processus. TOKYO ELECTRON INDY B-L a également une conception multi-colonnes qui permet de charger plusieurs plaquettes dans le même plateau pour augmenter la productivité. Cet atout de pointe est en outre équipé de l'algorithme TEL de Spatia Process Automation (SPA), qui calibre avec précision les paramètres de processus du modèle pour chaque chambre et tranche. Cela permet un processus plus précis et répétable en réduisant l'intervention humaine dans les paramètres de contrôle du processus. De plus, l'algorithme SPA permet également de réduire les risques d'erreurs humaines. Dans l'ensemble, TEL INDY B-L est un équipement de pointe multi-wafer etcher/asher qui fournit des processus de gravure/ashing extrêmement précis, reproductibles et efficaces. Son HMI intégré, son générateur RF, son système de contrôle d'interconnexion et son algorithme SPA fournissent aux utilisateurs tous les outils dont ils ont besoin pour améliorer considérablement leurs processus de production.