Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9395067 à vendre en France
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ID: 9395067
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Furnace, 12"
Process: D-Poly
Gases: NH3, DCS, (SiGe), C2H4, HF, 20%F2 with N2, TiCl3 Liquid
Power box
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un graveur/asher conçu pour fournir des résultats cohérents et de haute qualité pour une large gamme de traitement de semi-conducteurs. Il est équipé d'un électroplâtre de 240 mm Standard Pattern Generator (SPG) à 4 étages, et peut être personnalisé avec des mises à niveau telles qu'un refroidisseur de plaquettes, chambre de pulvérisation modulaire et bras robot. TEL INDY B L dispose d'un débit de gaz horizontal et d'un processus combiné de gravure sèche et humide. Ceci permet aux utilisateurs d'obtenir un degré plus élevé de sélectivité dans leurs processus de gravure, ainsi qu'un contrôle plus strict sur l'épaisseur des couches gravées. L'équipement supporte également une variété de gaz de gravure, offrant la capacité de graver plusieurs substrats en une seule étape. TOKYO ELECTRON INDY B-L dispose également d'une architecture de contrôle avancée (ACA), qui automatise toutes les opérations dans le processus de gravure. Cette fonctionnalité garantit une grande précision et répétabilité, tout en raccourcissant les temps de traitement. Le système fournit aux utilisateurs un contrôle précis des paramètres de processus et de l'exécution. TEL/TOKYO ELECTRON INDY B L utilise une variété de fonctions de surveillance automatisées pour assurer une production de la plus haute qualité. Il s'agit notamment du contrôle automatique du débit de gaz, du contrôle d'impédance, du contrôle de pression et du contrôle de la densité de l'eau. L'unité est aussi intuitiveso que les utilisateurs peuvent rapidement se familiariser avec son fonctionnement. TEL Indy-B-L offre des capacités complètes de contrôle informatique et de surveillance des données. Il peut stocker jusqu'à 1000 recettes, et peut être programmé pour exécuter des processus de gravure à forte demande sans intervention des opérateurs. La machine fournit également aux utilisateurs des solutions optimisées, y compris le tri des recettes, le lot de table, la recherche lithographique, l'analyse des dimensions critiques et la minimisation des écarts types. Enfin, Indy-B-L offre une large gamme de fonctions de sécurité, y compris un outil automatisé de prévention des incendies, un actif de purge des gaz azotés et des alertes automatiques liées à la sécurité. Ceux-ci garantissent que le modèle est utilisé correctement et en toute sécurité. Toutes ces fonctionnalités, associées à ses options complètes de service et de maintenance, font de TEL INDY B-L un choix idéal pour ceux qui recherchent des résultats de gravure fiables et de haute qualité.
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