Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B-L #9412423 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B-L est un graveur/asher qui est un type d'équipement de fabrication de semi-conducteurs utilisé pour retirer certains matériaux d'une pièce. Il est principalement utilisé pour traiter des plaquettes de silicium, mais peut être utilisé dans une gamme de procédés de fabrication. TEL INDY B L modèle de graveur est un dispositif de résistance qui utilise la gravure plasma pour enlever efficacement des matériaux tels que l'oxyde de silicium, le nitrure de silicium ou tout autre matériau diélectrique. Cela se fait en alimentant un gaz inerte comme le chlore, le brome ou le fluor pour créer un plasma qui produit des ions qui interagissent avec la pièce, brisant les liaisons chimiques du matériau et gravant tout matériau indésirable. Le dispositif a une taille de feuille de 6,2 « x 7,3 », avec une précision répétable de +/- 0,1 mm. Il est capable d'une vitesse de gravure de 1,49 µm/min sur plaquette de silicium et de 0,76 µm/min sur substrats de quartz. Sa plage de régulation de température est de 25-400 ° C Le dispositif est configuré pour permettre une uniformité de température maximale de +/- 2 ° C et une uniformité de distribution de gaz de +/- 10 % sur l'ensemble de la pièce. TOKYO ELECTRON INDY B-L est également équipé d'un poste de cryopump et a une plage de contrôle du vide de 60-300 mT et une pression de chambre qui peut être réglée à 10-5 mP. La pression de la chambre est réglable selon le procédé de gravure, par exemple pour un procédé de gravure profonde, il est nécessaire de maintenir une pression plus élevée dans la chambre. Le processus de gravure peut également être supervisé en temps réel grâce au circuit de surveillance in situ de l'graveur. TOKYO ELECTRON Indy-B-L etcher/asher est un appareil très avancé et fiable qui est utilisé pour traiter une variété de matériaux, y compris le silicium, le quartz, le cuivre et d'autres matériaux. Son circuit de surveillance in situ garantit la fiabilité et la répétabilité du processus, tandis que ses capacités de pression et de température réglables lui permettent d'être utilisé dans un large éventail d'applications.