Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B #293591338 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B est un graveur/asher de nouvelle génération conçu pour créer des structures à haut rapport d'aspect et des trous de contact avec une grande précision et débit. La machine dispose d'un design modulaire, qui permet à différents utilisateurs de personnaliser la machine pour leurs besoins spécifiques. TEL Indy-B est équipé d'une source d'ions Toshiba 2.2MeV et d'une chambre de traitement de 1,5 m x 1,0 m, qui offrent ensemble d'excellents débits et taux de gravure. Le graveur/asher offre également un traitement « sans contact », c'est-à-dire que toutes les manipulations des plaquettes pendant la gravure, la cueillette et les processus plasmatiques sont sans contact, évitant les rayures ou autres dommages aux plaquettes ou dispositifs délicats. La machine utilise également des processus de gravure et de cendrage puissants, contrôlés en retour, qui utilisent des algorithmes de mise en correspondance avancée en temps réel pour garantir la précision des caractéristiques gravées et cendrées, même à des niveaux de débit élevés. En plus de ses puissantes capacités de gravure et de cendrage, TOKYO ELECTRON Indy-B propose également des systèmes avancés de génération de plasma, avec plusieurs sources de résonance cyclotron électronique (ECR) et un réseau d'optiques d'injection de gaz. Cela permet la génération de différents plasmas, depuis les plasmas ultra-bas débit pour la diffusion et les étapes CVD, jusqu'aux plasmas haute densité pour la gravure et le cendrage. D'autres caractéristiques du système plasma comprennent l'accord automatique de fréquence, l'adaptation des gaz en temps réel et un générateur de plasma à distance. Avec les différentes caractéristiques d'Indy-B etcher/asher, les utilisateurs peuvent créer des structures de ratio d'aspect élevé, des trous de contact, et d'autres petits appareils avec une grande précision et le débit. De plus, sa conception modulaire et ses puissants systèmes de contrôle des processus en font un outil parfait pour les processus de microfabrication avancés.