Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B #9390672 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-B
ID: 9390672
Vertical diffusion furnace Process: DCS Nit.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B est un système de gravure et d'ashing conçu pour fournir aux fabricants de semi-conducteurs un traitement de substrat critique de haute précision et fiable. Il dispose d'une interface TEL facile à apprendre et conviviale qui permet des recettes définies par l'utilisateur pour différentes applications de processus. TEL Indy-B est composé de deux sections principales, le dispositif de chauffage/cartographie et les composants de traitement, qui sont physiquement connectés. Le chauffagiste/cartographe est responsable du chauffage précis et de la cartographie des plaquettes, tandis que les composants de traitement effectuent les processus de gravure et de cueillette. TOKYO ELECTRON Indy-B dispose d'une cartographie optimisée des zones à haute résolution et d'un mode de cartographie complète des plaquettes. Le dispositif de chauffage/cartographie permet non seulement aux utilisateurs de contrôler avec précision leur température, mais aussi leur résistance et leur tension. Il supporte également plusieurs gaz, assurant un débit de gaz efficace et minimisant le risque de rupture ou de défauts. Les composants de traitement de Indy-B supportent jusqu'à cinq chambres, y compris deux graveurs et cendriers parallèles, deux cendriers monobloc et un graveur monobloc. Pour s'assurer que les plaquettes sont uniformément distribuées pour le traitement, TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B traite automatiquement les plaquettes à partir d'une recette simple ou multiple. TEL Indy-B peut fonctionner jusqu'à 200 mm en plaquettes de diamètre, fournissant aux utilisateurs une solution de gravure et de cendrage fiable et efficace. TOKYO ELECTRON Indy-B dispose également de capacités avancées de test MEMS, qui permettent aux utilisateurs d'évaluer rapidement et avec précision l'efficacité des procédures de gravure sur les structures MEMS. De plus, les utilisateurs peuvent utiliser la suite d'applications complète d'Indy-B pour développer, programmer et exécuter des recettes pour une variété de processus de gravure et d'ashing. Cela garantit que les utilisateurs ont la flexibilité de développer des recettes personnalisées de gravure et d'ashing pour répondre à leurs exigences d'application exactes. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-B est une solution de gravure et de cendrage très avancée qui offre des performances et une précision élevées dans le traitement critique des substrats. Sa gamme d'applications complète et ses capacités de test complètes en font le choix idéal pour les fabricants de semi-conducteurs qui exigent des résultats de gravure et d'ashing supérieurs.
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