Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293587748 à vendre en France

ID: 293587748
Style Vintage: 2013
Vertical furnace 2013 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L est un graveur/asher conçu pour le traitement par lots et simple plaquette. Il est livré avec une grande chambre de traitement, une combinaison d'un mécanisme de centrage automatique des plaquettes et un capteur intégré pour les mesures d'épaisseur des plaquettes, une unité de refroidissement des plaquettes, des plaques d'alignement et des unités de réglage d'air. TEL Indy-I-L est un équipement tout-en-un qui peut traiter une variété de matériaux et de processus, permettant un réglage fin et une optimisation facile des processus. Grâce à son interface facile à utiliser et à ses commandes tactiles, TOKYO ELECTRON Indy-I-L convient à tous les utilisateurs, quel que soit leur niveau d'expérience. Indy-I-L dispose également d'un système de recette unique à base de cassettes qui permet d'enregistrer plusieurs recettes dans le même fichier, permettant des changements de paramètres rapides et efficaces. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L est équipé d'une unité optimisée de canaux multi-processus, permettant un fonctionnement indépendant et des processus simultanés. Cette machine réduit le temps de cycle et augmente la flexibilité et le débit. Les nombreux procédés de gravure de TEL Indy-I-L comprennent la gravure à sec, la gravure par pulvérisation, la gravure RIE et le dépôt chimique en phase vapeur. Il est également capable de pulvériser simultanément à l'avant et à l'arrière de la plaquette. Divers gaz, dont l'hélium et le CF4, peuvent être utilisés pour la gravure. TOKYO ELECTRON Indy-I-L offre une large gamme de recettes, y compris la gravure de couche atomique, la lithographie nano-empreinte et la gravure diélectrique. Indy-I-L est conçu avec un outil de refroidissement de pointe pour maintenir la qualité et la stabilité des procédés. Son atout gaz haute pression permet un contrôle précis du débit de gaz, tandis que son modèle avancé de contrôle sous vide assure des processus de gravure de haute qualité. Sa puissante source de vide assure une réduction du nombre de particules, tandis que sa source de faisceau flottant assure une répartition précise de l'énergie. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L est un grand graveur/asher pour le traitement avancé des semi-conducteurs. Sa capacité multi-processus et son passage rapide entre différentes recettes en font un excellent choix pour la production d'appareils de pointe. Son interface tactile intuitive, son équipement de refroidissement avancé et ses procédés de haute précision le rendent bien adapté aux exigences actuelles des semi-conducteurs.
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