Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293809896 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L est un graveur/asher conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. C'est un graveur d'ions réactif (RIE), qui utilise un plasma pour graver les couches du dispositif avec une énergie ionique contrôlée avec précision, le flux d'ions et l'état des ions. Le processus de gravure est conçu pour façonner les caractéristiques physiques du dispositif, tout en évitant d'endommager la structure sous-jacente. TEL Indy-I-L est un équipement à grappes verticales, capable de graver jusqu'à 6 plaquettes simultanément. Le système est équipé d'un étage de précision pour le positionnement précis des plaquettes dans la chambre de gravure, ainsi que d'un générateur RF pour le contrôle de puissance haute fréquence. L'unité a la capacité de contrôler les paramètres de gravure par un contrôle logique, fournissant des résultats de gravure précis et reproductibles. Il comporte une électrode supérieure et deux jeux d'électrodes inférieures qui dirigent le plasma dans des directions spécifiques. Le processus de gravure peut être adapté aux couches et applications spécifiques du dispositif, en changeant le temps de gravure et le niveau de puissance RF. TOKYO ELECTRON Indy-I-L machine est conçu pour fournir une gravure à basse température et est optimisé pour la gravure des matrices ultra-minces. L'outil comprend également un actif de purge de gaz à réponse rapide et des traitements de gaz pour une meilleure sélectivité des gravures et des profils de gravure de haute précision. Le modèle peut graver des couches aussi minces que 0,05 um, avec un haut degré de précision dans le contrôle de la profondeur et l'uniformité de gravure à travers la plaquette. L'équipement de gravure est enfermé dans une chambre en acier inoxydable pour assurer la sécurité de l'opérateur pendant le fonctionnement. Le contrôle des processus est géré par un PC intégré pour l'optimisation des recettes de gravure. De plus, le système comprend un chargeur automatique de plaquettes, un moniteur de plaquettes, un moniteur de jauge ionique et un capteur d'assurance qualité. Indy-I-L est conçu pour fournir un traitement rapide avec un débit élevé, ce qui le rend adapté aux paramètres de recherche et de production.