Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #293812118 à vendre en France
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ID: 293812118
Style Vintage: 2007
Atomic Layer Deposition (ALD) system
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L etcher/asher est un outil de production de pointe développé pour répondre aux exigences de fabrication exigeantes des industries actuelles de l'emballage, du MEMS et de l'opto-électronique. Il offre une précision et une répétabilité supérieures des processus de gravure et d'ashing, assurant des rendements toujours élevés et des coûts faibles. L'équipement est équipé d'une capacité avancée de précision et de fabrication de plaquettes à haut débit, ainsi que d'une variété de modules de processus intégrés. La chambre de procédé intégrée de TEL Indy-I-L etcher/asher est conçue pour maintenir un équilibre précis du gaz de procédé, permettant des performances supérieures en cendrage et gravure. Son système offre une grande uniformité de plasma, un nettoyage rapide des puces, une vitesse de traitement élevée et une non-uniformité de chambre à chambre réduite. L'unité est conçue avec la capacité de changer rapidement entre les recettes, minimisant le temps de traitement et le coût associés aux ajustements en cours de processus. De plus, sa technologie à chaînes multiples réduit la consommation des chambres et fournit des débits plus élevés par plaquette. La riche gamme de fonctions de sécurité intégrées de TOKYO ELECTRON Indy-I-L etcher/asher comprennent la détection cryogénique, les alarmes à haut niveau de pression, la détection des chocs, le chauffage et le refroidissement de haute qualité, les fonctionnalités OPC à distance et le suivi des plaquettes. Tout est conçu pour minimiser l'effet de la contamination par la poussière, en évitant un retraitement coûteux. En outre, les fonctions de redondance intégrées fournissent une solution de panne à l'échelle de la machine, assurant une productivité continue avec un temps d'arrêt minimal. Indy-I-L etcher/asher est également conçu pour un entretien facile, avec une interface conviviale. L'outil automatique de contrôle de la concentration des plaquettes et de lithographie permet un fonctionnement simple, ainsi que l'intégration de techniques de suivi avancées qui offrent une sélection dynamique des recettes, permettant aux utilisateurs de échanger rapidement entre les recettes. En conclusion, TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L etcher/asher est un outil de production avancé, convivial et économique qui offre des procédés de gravure et d'ashing de pointe, une excellente uniformité du plasma, une grande précision et répétabilité, des temps d'arrêt réduits et un entretien facile. Si vous êtes à la recherche d'un actif qui peut fournir des rendements élevés avec des résultats cohérents et des coûts bas, TEL Indy-I-L etcher/asher est le choix parfait.
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