Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394512 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L est un graveur/asher conçu pour le traitement de substrat semi-conducteur. Il offre de hautes performances dans la gravure, le dépôt et les traitements de surface. TEL Indy-I-L est un outil flexible, permettant à l'utilisateur de choisir parmi de nombreuses recettes et modes de production pour répondre à ses exigences. TOKYO ELECTRON Indy-I-L est équipé d'une source de plasma avec une source de plasma inductif de couplage hi-ratio (ICP). Cette source offre une vitesse de gravure et une homogénéité élevées même avec une structure de ratio d'aspect très élevée. L'outil possède également un double transducteur et un système antivibratoire (AVMD) conçu pour des performances supérieures. La chambre est également équipée d'un échangeur de chaleur efficace pour un chauffage et un refroidissement rapides afin de réduire les temps de cycle. Indy-I-L dispose d'un panneau d'exploitation convivial intuitif qui rend l'appareil facile à utiliser. L'utilisateur peut définir des paramètres de gravure dans le logiciel en utilisant l'accès protégé par mot de passe. Cela simplifie le processus, et fournit un moyen sûr de stocker les recettes de gravure. Le logiciel comprend également une base de données intégrée et de la documentation pour aider au développement de recettes. Pour la gravure, TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L supporte une large gamme de chimies de gravure incluant le plasma haute densité (HDPET), l'oxygène (O2), l'hexafluorure de soufre (SF6) et le tétrafluorométhane (CF4). L'outil supporte également une gamme de gaz réactifs dont l'azote (N2), l'hydrogène (H2) et l'argon (Ar). TEL Indy-I-L bénéficie également d'une grande uniformité de gravure, permettant des géométries fines et des processus critiques de gravure. Pour le dépôt, TOKYO ELECTRON Indy-I-L a une technologie de dépôt direct (DIP) qui permet un dépôt à haute vitesse, à haute uniformité, en couches minces. L'outil a également la capacité d'effectuer des dépôts assistés par ions (IAD) et des dépôts chimiques en phase vapeur à basse pression (LPCVD). Indy-I-L est également équipé d'un système avancé de transfert de plaquettes (WTS) pour un transfert sûr et rapide de plaquettes. Ce système de manutention efficace élimine les dommages et la contamination lors du transfert. Globalement, TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L offre stabilité, précision et répétabilité dans le traitement des substrats semi-conducteurs. C'est un outil efficace et fiable qui supporte un large éventail de techniques de gravure et de dépôt, ainsi que des systèmes de manutention des plaquettes. C'est un choix idéal pour les exigences complexes de traitement de substrat semi-conducteur.