Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394514 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L est un graveur/asher, fournissant des solutions de balisage pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il s'agit d'un équipement très efficace et automatisé de Court Pulse Asher (SPA) qui utilise une optique de faisceau d'électrons pour créer des motifs de précision de grande dimension sur les substrats semi-conducteurs. Il est adapté à la réalisation de dispositifs complexes nécessitant une haute résolution, tels que des circuits intégrés logiques, DRAM et spécifiques à des applications (ASIC). TEL Indy-I-L est équipé d'une variété de sources, de composants de transport de faisceau et d'outils de processus qui permettent une exposition multicouche dans un seul système. Il comporte un capteur de codage de faisceau avec une précision de position statique inférieure à 1,5 micron. Il contient également une unité de contrôle d'exposition conçue pour maintenir un haut degré d'uniformité entre les caractéristiques décrites. Quant à la source, elle est équipée d'un magnétron de puissance élevée de 25 kW capable de délivrer une lumière laser de courte durée d'impulsion allant de quelques picosecondes à quelques microsecondes. En plus de la machine de contrôle de l'exposition au faisceau d'électrons, TOKYO ELECTRON Indy-I-L dispose d'un outil de distribution in situ de gaz pour les processus de gravure et de cueillette. Cet actif est composé d'une conduite d'alimentation en gaz, d'un modèle d'échappement et d'un régulateur de pression qui permettent d'affiner les performances du procédé. De plus, il est équipé de deux chambres de gravure à sec intégrées indépendantes qui permettent une variété de procédés tels que la gravure, l'ashing et le dépôt de la couche de passivation du flanc. Indy-I-L contient également un ordinateur de contrôle de processus et des logiciels qui peuvent être utilisés pour surveiller et ajuster les paramètres de l'équipement. Ce logiciel permet de faire varier le cycle cyclique du gaz et du plasma, ainsi que la dose d'exposition. L'ordinateur est également pré-programmé avec une variété de recettes qui peuvent être utilisées pour enregistrer et transférer des données entre différents systèmes sur la ligne de production. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L est un graveur/asher efficace et fiable qui convient bien à toutes les étapes de fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Il a la capacité d'effectuer une variété de processus de gravure et d'ashing, et est capable de modeler la géométrie complexe avec un haut niveau de précision. Son interface conviviale permet un fonctionnement facile, et son magnétron haute puissance et son système de distribution de gaz permettent des performances supérieures.