Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394962 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L
ID: 9394962
Taille de la plaquette: 12"
Furnace, 12" LT ALD SiN.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L est un graveur/asher qui offre une solution compacte et économique pour la gravure au gaz et la gravure physique. Il est conçu pour offrir un haut niveau de flexibilité et de polyvalence, et est capable de gérer un large éventail de tâches de gravure, y compris la gravure de polymères, de diélectriques, de métaux et d'autres matériaux. La machine peut traiter des plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre, ce qui la rend idéale pour les opérations de fabrication de petit à moyen volume. La gravure primaire de TEL Indy-I-L se fait à l'aide d'un gaz spécial appelé chlore. La machine est configurée avec deux buses d'injection qui injectent le gaz dans la chambre de gravure pour créer une pression précise. Il en résulte une gravure uniforme du matériau ciblé de tous les côtés de la plaquette. Les paramètres de gravure tels que la pression, la température et le timing peuvent être ajustés avec précision à l'aide d'une interface utilisateur basée sur PC, offrant à l'utilisateur une large gamme d'options de gravure. Le procédé de gravure peut également être complété par des procédés de gravure physique tels que la pulvérisation abrasive et la gravure laser. Par exemple, la pulvérisation abrasive permet d'enlever une couche de surface organique des surfaces métalliques tandis que la gravure laser permet de graver avec précision les puits, trous et motifs de circuits. TOKYO ELECTRON Indy-I-L est également équipé d'un chauffe-quartz spécial qui peut être utilisé pour sécher les plaquettes après gravure. Indy-I-L est équipé de divers mécanismes de sécurité pour assurer la sécurité des opérateurs et des équipements en cas d'événements imprévus tels qu'un événement d'ionisation ou une fuite de gaz. La machine est également équipée d'un capteur très sensible qui détecte tout changement dans les conditions de gravure. En cas de changement, le capteur déclenche un arrêt automatique, permettant aux opérateurs de prendre les mesures appropriées. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L est un excellent graveur et asher pour une grande variété de matériaux. Il offre flexibilité et polyvalence, contrôle précis des paramètres de gravure, et plusieurs mécanismes de sécurité - le tout à un prix rentable. TEL Indy-I-L est un choix fiable et efficace pour les opérations de fabrication de petit à moyen volume.
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