Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9394964 à vendre en France

TEL (TOKYO ELECTRON) TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L est un moyen débit, multi-plate-forme etcher et asher. Il peut être utilisé pour un large éventail de matériaux, y compris les métaux, le Si, les composés et les diélectriques. Son application comprend le nettoyage des plaquettes, les dépôts et la gravure. Il est très polyvalent et adaptable, ce qui permet aux utilisateurs d'utiliser la gravure en angle tridimensionnelle et la cendre arrière. TEL Indy-I-L utilise des diamètres de plaquettes de 230 mm, 300 mm et 450 mm, ce qui le rend bien adapté à une variété d'applications. Il est équipé de trois ensembles d'actionneurs d'adaptation de soupapes électromagnétiques (EVMA), permettant une grande précision et une rapidité de traitement. Une source de plasma à longue durée de vie assure des performances optimales pour différents types de processus de dépôt et de gravure des matériaux. L'équipement de contrôle de la température en chambre permet une large gamme de températures de gravure, assurant une gravure précise. TOKYO ELECTRON Indy-I-L comprend également un système de dépôt à haute température, capable de processus rapides à haute température tels que le dépôt SiGe/Si et le LPCVD à haute température. Cette fonction est soutenue par une pompe électromagnétique qui aide à maintenir une uniformité impressionnante. Non seulement cela, le graveur/asher dispose également d'une unité de cascade d'azote, qui assure la réalisation de chambres isolées et propres au gaz de novacuum. Indy-I-L est également riche en fonctionnalités en matière de sécurité. Il est équipé d'une fonction de protection de sécurité qui purge la chambre avant et après toute opération, assurant le niveau de sécurité le plus élevé possible. La machine utilise également un bouton d'arrêt d'urgence intégré qui l'arrêtera immédiatement en cas d'urgence. Enfin, TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L est flexible en termes de fonctionnement et de maintenance. Son interface utilisateur est équipée d'un panneau tactile, d'un menu graphique et de fonctions de stockage en nuage qui permettent aux utilisateurs de stocker les paramètres et les recettes, ce qui simplifie et simplifie grandement le fonctionnement et la maintenance. Dans l'ensemble, TEL Indy-I-L est un graveur/asher idéal pour ceux qui ont besoin de haute précision, de grand débit et de processus de gravure/ashing polyvalents. Il est robuste et offre la précision et la sécurité dont les utilisateurs ont besoin. Il est également extrêmement convivial, permettant aux utilisateurs de répondre rapidement à un large éventail d'applications de gravure et de cendrage.