Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy-I-L #9402690 à vendre en France
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ID: 9402690
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2006
Furnace, 12"
Process: NH₃, DCS, SiGe, C₂H₄, TiCl₃ Liquid deposition, 20% F₂ / N₂ Cleaning
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L est un graveur/asher à plasma avancé conçu et conçu par TEL. Cet graveur est spécialement conçu pour la gravure plasma à haut débit de divers substrats, y compris des dispositifs semi-conducteurs multicouches, des diélectriques et des métaux. TEL Indy-I-L est un graveur entièrement intégré, doté d'un équipement d'alignement automatisé à haute résolution, d'un robot porte-échantillons à grande vitesse et de sources de plasma avancées pour la gravure plasma des substrats et des films. TOKYO ELECTRON Indy-I-L est conçu pour fournir une vitesse de gravure et une sélectivité élevées sur une large gamme de films et de substrats, permettant l'utilisation de l'graveur pour la fabrication d'appareils avec un haut degré de précision et d'uniformité. Le robot porte-échantillons à grande vitesse permet de traiter rapidement et avec précision les grands substrats de géométries différentes, tandis que le système d'alignement automatisé assure la reconnaissance des motifs et l'enregistrement des substrats. Cette unité dispose également d'une source de plasma avancée, capable de délivrer une large gamme de puissances de gravure et de gaz, avec un haut degré de contrôle. La machine de contrôle et de diagnostic avancée d'Indy-I-L permet de surveiller en temps réel les paramètres du processus de gravure, y compris la température, la pression, la puissance et les débits de gaz du plasma. Cela permet aux ingénieurs de contrôler avec précision les paramètres de gravure et d'ajuster immédiatement les paramètres si nécessaire pour garantir les processus de gravure de la plus haute qualité. TEL/TOKYO ELECTRON Indy-I-L est également entièrement compatible avec les outils de simulation, permettant aux ingénieurs de tester et simuler les processus de gravure avant le traitement réel. Cela garantit que les ingénieurs disposent des données et des informations nécessaires pour maximiser la performance du processus de gravure. TEL Indy-I-L est une solution idéale pour les fabricants de semi-conducteurs et les laboratoires de recherche qui nécessitent des processus de gravure à haut débit. Ses fonctionnalités avancées, sa flexibilité et sa compatibilité font de TOKYO ELECTRON Indy-I-L un excellent choix pour la recherche avancée et la fabrication d'appareils.
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