Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293622680 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M est un graveur chimique fabriqué par TEL Ltd., fabricant et distributeur mondial d'équipements de fabrication de semi-conducteurs. TEL Indy Plus-A-M est conçu pour fournir des services de gravure par lots et d'ashing pour divers matériaux, y compris l'oxyde, le nitrure, les métaux et les polymères. Le système offre un contrôle complet du processus wafer-to-wafer grâce à une interface utilisateur intuitive, utilisant un contrôleur avancé guidé par ordinateur et la robotique. TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M est équipé de trois chambres et de six modules de processus, ainsi que d'un panneau de distribution de gaz supplémentaire. La première chambre est la chambre de gravure, qui sert à graver les matières indésirables et à affûter les caractéristiques avec des acides, des bases ou des gaz réactifs. La deuxième chambre est la chambre de cueillette, qui utilise l'oxygène ou le plasma à base d'azote pour éliminer rapidement les couches minces de matériau, permettant un traitement plus rapide et une finition plus cohérente. La troisième chambre est un module de pompe, qui est utilisé pour contrôler soigneusement le flux de produits chimiques et de gaz et contribue à maintenir l'atmosphère et l'intégrité du substrat du système. Le contrôleur interne guidé par ordinateur d'Indy Plus-A-M régit la température et la pression, ainsi que d'autres paramètres de fonctionnement, pour des résultats précis, reproductibles et sûrs. Le bras robotique assure un déplacement et un positionnement précis du substrat à traiter, permettant un débit maximum et un temps d'arrêt minimal. Le système offre également diverses recettes, ce qui le rend adapté à une gamme d'applications. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M est capable de traiter une variété de substrats dont le silicium, le III-V, les polymères et les métaux. Il est disponible en versions mini (375 mm), mid (450 mm) et max (525 mm), et peut accueillir des plaquettes jusqu'à 5,25 pouces de diamètre. TEL Indy Plus-A-M dispose également d'un moniteur de processus adaptatif, qui ajuste automatiquement les paramètres de gravure et d'ashing pour éliminer les éventuelles non-uniformités qui pourraient survenir pendant le traitement. TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M est un graveur et cendrier fiable et polyvalent, offrant une grande valeur aux clients qui ont besoin de graver et de cendres substrats haute densité avec des résultats cohérents. Il offre un large éventail d'options de traitement, personnalisables pour répondre aux besoins de ses clients, et est soutenu par TOKYO ELECTRON vaste réseau de professionnels du service à la clientèle compétents.