Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293637640 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M est un équipement de gravure plasma et d'équipement développé par TEL (TOKYO ELECTRON) et est utilisé dans le traitement des semi-conducteurs et des MEMS/NANO. TEL Indy Plus-A-M est un système de gravure plasma qui permet une gravure de haute qualité de géométries extrêmement étroites et fines tout en conservant une grande précision et un débit élevé. Il est principalement utilisé dans le traitement des semi-conducteurs, la fabrication de photomasques et les applications de dispositifs MEMS/NANO. TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M dispose d'une chambre de gravure par lots de 6 pouces et 8 pouces pour la gravure par lots, planaire ou isotrope. Une nouvelle version est également disponible dans un wafer 12 pouces plus grand pour accueillir de plus grandes tailles de wafer. La chambre est conçue pour une productivité élevée avec une homogénéité, une répétabilité et une faible contamination par les particules. Son unité de contrôle de processus haute performance et sa conception intelligente permettent de passer rapidement d'un processus à un autre. La machine de contrôle de processus permet également des réglages en temps réel pour assurer des conditions de processus optimales pour différents types de matériaux. Indy Plus-A-M dispose du contrôleur TEL/TOKYO ELECTRON Etch Module (TEM) haut de gamme qui offre une polyvalence avancée et des options de contrôle à bord. Il supporte une large gamme de recettes de gravure, y compris les recettes de gravure linéaire et anisotrope planaire. Le TEM fournit une précision extrême sur la puissance, la pression et la correspondance des paramètres de gravure, tout en supportant plusieurs recettes de gravure et pistes de simulation. Le TEM gère les recettes de gravure Si et SiN, et l'outil intégré offre un contrôle de profil supérieur et une fiabilité critique de gravure. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M dispose également de capacités d'analyse plasma 3D, permettant à l'utilisateur de surveiller l'uniformité de gravure et les conditions de traitement en temps réel. Il dispose également d'un module de diagnostic intégré qui permet une surveillance rapide et l'ajustement des paramètres de processus. L'actif dispose également d'un module de biais de bord qui optimise les résultats de gravure pour différents types de matériaux. TEL Indy Plus-A-M prend également en charge les utilisateurs finaux avec son kit de développement logiciel spécialisé (SDK) qui permet la personnalisation et le développement d'applications spécifiques pour la fabrication d'appareils. Ce SDK offre la flexibilité d'intégrer des recettes et des processus spécifiques à l'utilisateur dans TEL Etch Module en assurant la précision et le contrôle complet du processus de gravure. En conclusion, TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M est un graveur avancé qui permet aux utilisateurs haute précision, répétabilité et débit tout en supportant un large éventail de recettes de gravure et d'options de processus. Avec son fonctionnement intuitif, son modèle intégré de contrôle des processus et son SDK flexible, Indy Plus-A-M est un outil incontournable pour de nombreuses applications de fabrication de semi-conducteurs et de MEMS/NANO.