Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M #293656320 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M est un outil de pointe de gravure 3D/Ashing. Il est doté d'un design robuste, d'une précision et d'une précision de gravure et de cendrage supérieures et a été développé pour répondre aux besoins des fabricants actuels d'équipements semi-conducteurs. Avec TEL Indy Plus-A-M, les utilisateurs peuvent graver et aspirer des plaquettes avec moins de variation de processus et des temps de cycle plus courts. TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M est adapté pour diverses applications de gravure et de cendrage, ainsi que pour le dopage avancé, le transfert de couches, les procédés de recuit et la gravure de film épais. L'outil est équipé d'un LOBOTRON™ (Laser Optical Beam Optical Tron) et d'un réflecteur mécanisé (MR). À l'aide d'un LOBOTRON™, Indy Plus-A-M est capable d'effectuer des gravures/cendres avec moins d'erreurs de focalisation laser en raison de sa conception robuste. En outre, grâce à la technologie MR, le traitement direct (par exemple gravure/cendrage à haut rapport d'aspect) est réalisable avec une faible variabilité du procédé. TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M offre une large gamme de capacités de processus, y compris la capacité de traiter des plaquettes jusqu'à 5 µm pour les processus à très haut rapport d'aspect et jusqu'à 9 mm pour les applications à haut débit. Il peut également fournir aux utilisateurs des gravures/cendres répétables et robustes sur divers types de métaux, matériaux plastiques et oxydes, ainsi que des matériaux cristallins/non amorphes. TEL Indy Plus-A-M est conçu pour réduire les coûts de fabrication et améliorer la productivité. Sa fonction de contrôle en boucle fermée (CLC) offre des performances de gravure/cueillette précises pour une répétabilité à long terme. Il garantit également une qualité constante du produit en fournissant une rétroaction en temps réel des paramètres du processus. En outre, ses fonctions de préconditionnement automatisé aident à raccourcir les temps de gravure tout en maintenant les paramètres de processus désirés. Dans l'ensemble, TOKYO ELECTRON Indy Plus-A-M est une solution idéale pour les utilisateurs qui nécessitent des processus de gravure et d'ashing avancés avec un faible coût de propriété. L'interface utilisateur facile à utiliser, l'abordabilité et les fonctions de sécurité intégrées de l'outil en font l'outil parfait pour l'industrie des semi-conducteurs d'aujourd'hui. Il est idéal pour les fabricants qui cherchent à augmenter leur rendement de production, réduire les déchets et améliorer la qualité des produits.