Occasion TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293637534 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M est un équipement de gravure puissant conçu pour répondre aux exigences exigeantes des procédés de fabrication de semi-conducteurs d'aujourd'hui. Cet etcher est capable de traiter différents substrats allant du silicium aux matières organiques telles que les plastiques et les diodes électroluminescentes organiques (OLED). Le procédé de gravure avancé du système, appelé dépôt physique en phase vapeur (PVD), permet un contrôle précis de la forme, de la taille et de la composition de chaque couche. Il présente un motif de dépôt très uniforme et un rendement de procédé élevé. L'etcher est équipé d'une installation de dépôt chimique à haute performance en phase vapeur (CVD) pour effectuer une gravure plasma rapide et uniforme des couches. TEL INDY PLUS B-M offre une gamme d'options de régulation de température pour permettre des conditions de gravure optimales. Il comprend à la fois une plaque chaude et un réchauffeur à induction, permettant un contrôle précis de la température jusqu'à 2000 ° C Un électroaimant dans la chambre de gravure aide à maintenir un dépôt uniforme sur l'échantillon. L'unité comprend également un mécanisme de contrôle automatisé de hauteur de chambre innovant qui assure une hauteur de substrat de niveau et une dispersion plasma uniforme sur le substrat. Ce qui distingue vraiment TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M, c'est son logiciel de gravure plasma convivial et de haute précision. La machine dispose d'une commande de puissance réglable par l'utilisateur robuste pour contrôler le temps de gravure, la puissance et le cycle de service. Grâce à ses puissants modes d'automatisation, l'etcher facilite le développement et l'optimisation des processus. Il dispose également d'un affichage graphique 3D de la chambre de gravure qui permet aux utilisateurs de surveiller et de contrôler le processus de gravure. En outre, TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M dispose d'un puissant spectromètre d'émission optique pour la détection précise du point final. Un four à tube en quartz est également inclus pour le traitement sans souche de substrats thermiquement instables. Les capacités de dépôt automatique couche par couche de l'etcher permettent d'adapter facilement l'épaisseur de couche des structures ciblées. INDY PLUS B-M est un graveur avancé offrant des performances supérieures dans un emballage compact et convivial. Avec son processus de gravure puissant et ses systèmes de contrôle intuitifs, il facilite la fabrication de structures de haute précision. Cet etcher est un excellent choix pour les opérations de fabrication de semi-conducteurs exigeantes d'aujourd'hui.