Occasion TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293637541 à vendre en France

L'équipement de gravure TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M est conçu pour la production de volume au niveau des plaquettes et peut être intégré dans une variété de bancs humides, de ports de chargement et de stations propres. Doté d'un plasma à couplage inductif avancé (ICP) et d'un module de cyclage thermique rapide (RTC), ce système offre des performances exceptionnelles dans les processus de gravure du silicium. L'unité est équipée d'un contrôleur intermédiaire de commande de station (SCIC) qui simplifie le fonctionnement et la maintenance de l'outil. Une interface utilisateur graphique facile à utiliser guidée à travers les ports d'actifs si nécessaire, et peut vérifier l'acquisition de données point à point et l'état du modèle. Le SCIC est complété par une fonction de stockage de recettes qui permet le stockage de recettes multiples et peut être utilisé avec plusieurs systèmes et configurations d'outils. TEL INDY PLUS B-M dispose d'un générateur ICP et d'un module cyclique thermique rapide (RTC) pour fournir des processus stables et uniformes. Le PIC est une source de plasma à couplage capacitif haute fréquence (13,56 MHz). Le PIC aide à améliorer l'uniformité des gravures, à augmenter le taux de gravure et à assurer un niveau élevé de sélectivité tout au long du processus de gravure. Le générateur ICP permet également d'ajuster rapidement et précisément les applications de processus pour obtenir les résultats de gravure souhaités. Le module RTC peut effectuer un cycle entre le chaud et le froid en quelques millisecondes afin d'effectuer un recuit thermique rapide (RTA), ce qui contribue à améliorer l'uniformité des processus et à maintenir des temps de gravure courts. TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M est conçu pour supporter la température et le contrôle au niveau des plaquettes. La température du substrat de procédé est surveillée par spedily et fortement régulée pour faire varier les paramètres de débit de gaz et les niveaux de puissance afin d'optimiser la vitesse de gravure et l'uniformité. Le transfert et la manipulation des plaquettes sont également pris en charge par ses caractéristiques d'auto-alignement et d'OCR, assurant que chaque substrat pénètre dans la chambre de procédé avec son bord de fuite perpendiculaire à la surface de la plaquette. Cette unité utilise des pompes multiples, des pompes turbo-moléculaires et des systèmes d'injection chimique pour gérer la chambre de processus. Les contrôleurs de débit massique (MFC) intégrés gèrent les processus pour maintenir une atmosphère contrôlée dans la chambre. En outre, il est conçu avec un certain nombre de caractéristiques de sécurité telles que les volets de sécurité de faisceau d'ions, les volets de sécurité de panier RF, et la surveillance de la pression de chambre en temps réel. En conclusion, la machine de gravure TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M est un outil de gravure fiable et robuste pour la production de plaquettes de haute qualité et de précision. Sa combinaison du PCI, du CCF et du contrôle du niveau des plaquettes assure une uniformité de processus et donne des résultats de répétabilité stables. Sa fonction intuitive de résistance à la chaleur réduit les coûts de maintenance et soutient le travail dans une variété de chambres de processus.