Occasion TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643271 à vendre en France
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ID: 293643271
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Furnace, 12"
Process: MDZrOX
KAWASAKI W/T Robot
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M est un graveur/asher par lots de taille moyenne qui a été conçu pour fournir des solutions complètes de gravure et d'ashing. Cette station multi-graveur/asher offre des solutions intégrées pour les processus physiques et chimiques de gravure/ashing, permettant aux utilisateurs de traiter jusqu'à 6 substrats simultanément. Cela permet aux utilisateurs d'améliorer le débit, la qualité et la précision, d'obtenir des résultats cohérents avec des performances répétables au fil du temps, tout en réduisant les temps d'arrêt. Ce graveur/asher se distingue en offrant un large éventail de caractéristiques, telles que l'accélération de réaction à grande vitesse, le contrôle précis des conditions de gravure/ashing, et la surveillance avancée des processus. Toutes les fonctionnalités conviviales sont disponibles grâce à l'interface intuitive de son écran tactile LCD. Ce système convivial permet aux opérateurs de modifier facilement les paramètres d'exécution d'un processus de gravure/cueillette, avec des directions étape par étape pour un réglage facile et l'optimisation de la recette de gravure/cueillette. TEL INDY PLUS B-M offre également une flexibilité de procédé supérieure, avec un ensemble varié de sources de gaz et de flux de gaz disponibles pour différents processus de gravure/ashing. En utilisant la fonction AutostopTM, les opérations de gravure/ashing peuvent être arrêtées automatiquement après l'achèvement du temps de traitement défini ou lorsqu'un point final désiré a été atteint. Cela permet aux utilisateurs de maximiser leurs rendements de gravure/cueillette sans avoir à surveiller et ajuster manuellement leurs conditions de processus. De plus, le système avancé de régulation de la température assure des taux de gravure/cueillette fiables et uniformes, tout en minimisant la quantité d'échantillons rejetés. Cet etcher/asher a été conçu avec la plus grande sécurité et l'hygiène à l'esprit. Grâce à des dispositifs de sécurité intégrés et des capteurs avancés, TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M est en mesure de détecter en toute sécurité tout dysfonctionnement dans le processus de gravure/ashing, ainsi que de surveiller et de contrôler les fuites chimiques et les émissions d'échappement. De plus, son système de circulation en boucle fermée minimise les risques de contamination aérienne, et son cycle de nettoyage automatique assure un espace de travail propre et exempt de contamination. En conclusion, TEL INDY PLUS B M est un excellent choix pour les procédés de gravure par lots et/ou d'ashing à moyenne échelle. Ce graveur/asher avancé offre des fonctionnalités avancées qui permettent aux utilisateurs de définir des paramètres de processus optimisés pour leurs besoins de gravure/ashing, tandis que ses caractéristiques de sécurité intégrées garantissent des opérations sûres et fiables. Avec son interface conviviale, ses options de processus flexibles et sa conception de sécurité supérieure, TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M est un outil de gravure/ashing idéal pour la recherche et les applications industrielles les plus exigeantes.
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