Occasion TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643274 à vendre en France
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Vendu
ID: 293643274
Furnace, 12"
Process: HfOx
Load lock system
KAWASAKI W/T Robot
2012 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M est un graveur/asher conçu pour les procédés de fabrication de semi-conducteurs utilisés dans la fabrication de dispositifs et composants semi-conducteurs. Il s'agit d'un graveur/asher de haute précision capable d'une variété de procédés tels que la gravure ionique, la gravure de tungstène, le dépôt chimique en phase vapeur (CVD), le recuit thermique rapide (RTA), et d'autres procédés avancés utilisés pour la fabrication de dispositifs. Le graveur-asher est équipé d'un graveur à membrane diélectrique très fiable, d'un mandrin électrostatique et d'une unité de refroidissement refroidie. Cette combinaison permet une efficacité optimale dans la gravure et le recuit des dispositifs et composants semi-conducteurs. TEL INDY PLUS B-M dispose d'une grande taille de chambre et d'une capacité de gravure haute densité qui peut traiter jusqu'à 20 plaquettes par libération. L'etcher/asher est équipé d'un Smart Process Control intégré qui automatise le processus et assure la cohérence de la production. Le Smart Process Control permet également aux utilisateurs de surveiller l'équipement en temps réel, ce qui permet de surveiller les paramètres du processus de gravure et de recuit. En outre, TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M peut être utilisé dans une variété de plages de température, ce qui le rend adapté à une large gamme d'applications. INDY PLUS-B-M est conçu avec une interface utilisateur simplifiée et intuitive, permettant aux utilisateurs de naviguer facilement dans les processus de gravure et de recuit. Il est également équipé d'un système de diagnostic avancé qui peut identifier les anomalies et diagnostiquer tout problème qui peut survenir au cours du processus de gravure ou de recuit. L'unité est équipée d'une base de données pour stocker les recettes pour le processus de gravure ou de recuit et la capacité de stocker les résultats des tests à des fins de comparaison. TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M dispose de multiples sources d'ions qui sont situés près de l'entrée de la chambre et peuvent être facilement insérés pour des applications spécifiques de gravure et de recuit. Le graveur/asher dispose également d'une machine de sécurité avancée pour assurer la sécurité des opérateurs et prévenir tout accident. En outre, le graveur/asher est également équipé d'un étalonnage automatique des outils qui aligne le logiciel d'inspection et d'étalonnage sur les différents paramètres nécessaires pour traiter correctement une grande variété de matériaux. Dans l'ensemble, INDY PLUS B-M est un graveur/asher fiable et de haute précision conçu pour les procédés avancés de fabrication de semi-conducteurs. Il fournit un processus rapide et efficace pour la gravure, gravure de tungstène, CVD, RTA, et d'autres procédés avancés utilisés pour la fabrication d'appareils. Sa grande taille de chambre et sa capacité de gravure haute densité, combinées au contrôle de processus intelligent intégré, le rendent adapté à un large éventail d'applications. De plus, l'actif est équipé de diagnostics avancés, de capacités de stockage de données et d'étalonnage automatique des modèles, ce qui en fait un choix fiable pour tout procédé de fabrication de semi-conducteurs.
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