Occasion TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293643277 à vendre en France
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ID: 293643277
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
Furnace, 12"
Process: DCS-MTO
Load lock system
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M Etcher/Asher est un graveur de banc humide et asher pour les applications de fond de ligne (BEOL), ce qui le rend idéal pour une large gamme de procédés de fabrication. Cet outil avancé s'articule autour de trois processus automatisés indépendants : le décapage, la gravure et le cendrage. Le strippage est le procédé utilisé pour l'élimination initiale de la couche corrosive de la plaquette de silicium, étape essentielle au traitement humide qui suit. Le mode haute pression de l'outil permet de dénuder jusqu'à 9 plaquettes à la fois, ce qui permet un débit plus rapide que d'autres outils comparables. La gravure est la prochaine étape du processus et utilise également des capacités de pulvérisation ou d'immersion à haute pression pour graver le diélectrique, le métal, ou les deux en même temps. Il utilise un processus en deux étapes qui peut être personnalisé pour répondre à une variété d'applications. Le taux de gravure est réglable grâce à la programmation et peut être surveillé en temps réel. Le procédé ASHING de l'outil est conçu pour graver et enlever uniformément le revêtement photorésist de la surface de la plaquette. Le procédé utilise la technologie CleanScribe, qui aide à éliminer uniformément la résine photosensible tout en évitant les dommages à la plaquette. L'ajout d'un compresseur ETCH/AIR dédié et de protecteurs DI/N2 aide à maintenir la chambre propre, assurant un processus fiable et sans contamination. L'outil a également le potentiel d'une variété de mises à niveau et d'ajouts, permettant une personnalisation plus poussée en fonction de l'application spécifique d'un fabricant. Avec son procédé en trois étapes et ses configurations personnalisables, TEL INDY PLUS B-M Etcher/Asher est un choix idéal pour une large gamme d'applications de fabrication électronique. Il offre un traitement rapide et efficace et est capable de répondre aux spécifications exactes d'un travail donné. En utilisant la dernière technologie de gravure/cendres, cet outil avancé est capable de répondre rapidement et de manière fiable aux exigences les plus exigeantes et précises.
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