Occasion TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293656658 à vendre en France

ID: 293656658
Style Vintage: 2010
Furnace Process: LPCVD, Poly Hard Disk Drive (HDD) Load port Carrier transfer FIMS Boat elevator / Seal cap rotation Auto shutter VMM-56-201 Heater Process: LPCVD, Poly N2 Load lock Load port HTR Exhaust box Power box Front and reer upper cover Final valve box Wafer transfer Carrier transfer Gas flow chart O2 Analyzer Does not include HCT Si SEMI STD-Notch, 12" M780 Furnace temperature controller User interface: Pressure display Unit: MPa / Torr Carrier type: FOUP / 25slots SEMI STD Carrier stage capacity: 16 Fork material: Al203 and PEEK W/T Type: 1+4 Edge grip RCU Power distribution system: 3-Phase connection type: Star connection Single-Phase connection: Grounded Gas distribution system: FUJIKIN Integrated Gas System (IGS) MFC Z500 IGS Final filter, regulator Power supply: 400 VAC, 50/60 Hz, Single phase, 3-Phase 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M etcher (également connu sous le nom de asher) est un outil de traitement semi-conducteur très avancé conçu pour les applications à haut débit. Cet équipement fournit un contrôle supérieur et une précision fiable pour différents substrats, de la photorésist à film épais aux interconnexions métalliques à film mince. Le trait principal de TÉL INDY PLUS le graveur B-M est son design unique qui combine deux technologies de traitement : KOS (Bande d'Oxydation Connue) et MPT (Technologie Modelante Multi-). La technologie KOS utilise un faisceau de plasma à grande vitesse qui est capable d'éliminer les contaminants organiques à la surface d'une plaquette. Ce procédé est idéal pour des applications telles que le démoulage d'oxyde, le démoulage d'oxyde ou le démoulage d'oxyde. La technologie MPT, par contre, utilise un faisceau de plus faible énergie et une pression de gaz d'évaporation plus élevée pour graver des motifs de haute densité sur un substrat. TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M est conçu pour réduire le temps de traitement tout en maintenant la qualité. Il utilise un logiciel contrôlé par ordinateur qui permet aux utilisateurs de programmer les paramètres de gravure en fonction de leurs besoins. Le logiciel intègre également une routine logicielle avancée pour aider les utilisateurs à sélectionner rapidement et avec précision les paramètres pour certains types d'applications. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M dispose d'une gamme d'options qui permettent aux utilisateurs de choisir des paramètres pour des processus spécifiques tels que la densité du motif, le timing, le type de gaz et le débit de gaz. INDY PLUS B M est également livré avec une variété de composants périphériques et de capteurs qui aident les utilisateurs à contrôler et surveiller le processus de gravure. Le système comprend un pyromètre optique avancé qui mesure la température de la plaquette et permet aux utilisateurs d'ajuster précisément les paramètres de gravure en conséquence. De plus, cette unité présente diverses caractéristiques de sécurité telles qu'une machine anti-collision, un capteur qui prévient les catastrophes avec des arcs à haute tension potentiels, et un outil d'alarme qui avertit l'opérateur en cas de problème. TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M etcher est idéal pour les entreprises de semi-conducteurs et les établissements de recherche qui recherchent un actif de gravure fiable et précis. Il offre la capacité de traiter une variété de substrats avec un débit et une précision élevés, ce qui en fait un outil idéal pour un large éventail d'applications.
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