Occasion TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293656658 à vendre en France
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ID: 293656658
Style Vintage: 2010
Furnace
Process: LPCVD, Poly
Hard Disk Drive (HDD)
Load port
Carrier transfer
FIMS
Boat elevator / Seal cap rotation
Auto shutter
VMM-56-201 Heater
Process: LPCVD, Poly
N2 Load lock
Load port
HTR
Exhaust box
Power box
Front and reer upper cover
Final valve box
Wafer transfer
Carrier transfer
Gas flow chart
O2 Analyzer
Does not include HCT
Si SEMI STD-Notch, 12"
M780 Furnace temperature controller
User interface:
Pressure display Unit: MPa / Torr
Carrier type: FOUP / 25slots SEMI STD
Carrier stage capacity: 16
Fork material: Al203 and PEEK
W/T Type: 1+4 Edge grip
RCU
Power distribution system:
3-Phase connection type: Star connection
Single-Phase connection: Grounded
Gas distribution system:
FUJIKIN Integrated Gas System (IGS)
MFC Z500 IGS Final filter, regulator
Power supply: 400 VAC, 50/60 Hz, Single phase, 3-Phase
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M etcher (également connu sous le nom de asher) est un outil de traitement semi-conducteur très avancé conçu pour les applications à haut débit. Cet équipement fournit un contrôle supérieur et une précision fiable pour différents substrats, de la photorésist à film épais aux interconnexions métalliques à film mince. Le trait principal de TÉL INDY PLUS le graveur B-M est son design unique qui combine deux technologies de traitement : KOS (Bande d'Oxydation Connue) et MPT (Technologie Modelante Multi-). La technologie KOS utilise un faisceau de plasma à grande vitesse qui est capable d'éliminer les contaminants organiques à la surface d'une plaquette. Ce procédé est idéal pour des applications telles que le démoulage d'oxyde, le démoulage d'oxyde ou le démoulage d'oxyde. La technologie MPT, par contre, utilise un faisceau de plus faible énergie et une pression de gaz d'évaporation plus élevée pour graver des motifs de haute densité sur un substrat. TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M est conçu pour réduire le temps de traitement tout en maintenant la qualité. Il utilise un logiciel contrôlé par ordinateur qui permet aux utilisateurs de programmer les paramètres de gravure en fonction de leurs besoins. Le logiciel intègre également une routine logicielle avancée pour aider les utilisateurs à sélectionner rapidement et avec précision les paramètres pour certains types d'applications. De plus, TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M dispose d'une gamme d'options qui permettent aux utilisateurs de choisir des paramètres pour des processus spécifiques tels que la densité du motif, le timing, le type de gaz et le débit de gaz. INDY PLUS B M est également livré avec une variété de composants périphériques et de capteurs qui aident les utilisateurs à contrôler et surveiller le processus de gravure. Le système comprend un pyromètre optique avancé qui mesure la température de la plaquette et permet aux utilisateurs d'ajuster précisément les paramètres de gravure en conséquence. De plus, cette unité présente diverses caractéristiques de sécurité telles qu'une machine anti-collision, un capteur qui prévient les catastrophes avec des arcs à haute tension potentiels, et un outil d'alarme qui avertit l'opérateur en cas de problème. TOKYO ELECTRON INDY PLUS B-M etcher est idéal pour les entreprises de semi-conducteurs et les établissements de recherche qui recherchent un actif de gravure fiable et précis. Il offre la capacité de traiter une variété de substrats avec un débit et une précision élevés, ce qui en fait un outil idéal pour un large éventail d'applications.
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