Occasion TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293670620 à vendre en France

ID: 293670620
Furnace Process: Al203 (ALO / ZRO) 2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M est un graveur/asher haut de gamme avec des caractéristiques avancées, idéalement adapté pour des applications industrielles et scientifiques. Ses caractéristiques comprennent : Une chambre de traitement de 91 x 52 cm, avec la possibilité d'étendre à 119 x 62 cm. Une alimentation qui permet jusqu'à 120 watts de puissance, pour les processus de gravure et de cueillette. Deux fours pré- et post-chauffage pouvant contenir jusqu'à 21 plaquettes. Plusieurs sorties de générateur RF qui peuvent être programmées individuellement pour des processus de gravure et d'ashing spécifiques. Capacités de cueillette de micro-ondes, avec capacité de micro-ondes en option. Un système de pression avancé, avec la possibilité de surveiller en temps réel, et de contrôler avec précision la pression pendant les processus de gravure et de cueillette. Nettoyage automatisé, avec la capacité de contrôler la pression, la température et le débit du gaz de nettoyage. Une interface utilisateur à écran tactile qui permet aux utilisateurs de configurer facilement leurs processus de gravure et d'ashing, et de surveiller l'avancement de leurs processus. Plusieurs capteurs peuvent être utilisés pour surveiller l'état de la chambre de traitement, y compris la température, la pression et le débit. Un système d'épuration de l'air inclus, qui aide à éliminer les contaminants particulaires et à améliorer la qualité des plaquettes. TEL INDY PLUS B-M est conçu pour offrir d'excellents résultats constants, avec de faibles exigences d'entretien et une longue espérance de vie. Il a également été conçu avec facilité d'utilisation, avec des interfaces utilisateur claires et intuitives. Ses nombreuses caractéristiques en font un choix idéal pour les applications industrielles et scientifiques, de la gravure et de l'ashing au contrôle avancé des procédés.
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