Occasion TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293763487 à vendre en France
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ID: 293763487
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2015
Vertical furnace, 12"
Process: Pyro
Air valve: CKD
VOS-56-101PT Heater
Automation system
Process chamber
MFC, MFM: AERA
MAIN / APC: CKD
Gases: HCL, H2, O2, N2
Load lock system
Storage
4-Color signal tower
Carrier transfer
Load port: Side FFU
FIMS Port
Wafer transfer
Boat elevator
Auto shutter
Manufold scavenger
(2) Boat transfers
Boat stage
Manifold
Utility box:
WAVES Controller
GFC Display
Operation panel
Data I/O
Hardware switch
Gas unit
Cooling unit
APC controller
Temperature controller
Vacuum line
Power box:
EMO Unit
Control board
Hardware switch
Transformer
SCR Unit with controller
N2 Purge unit
RF Power
Rapid cooling unit
Pump box
Gas subsystem:
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Operating system: Linux
Power supply: 120/480 V, 3 Phase, Single phase
2015 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M est un graveur/asher conçu pour la production de micro-composants de grande précision et en grand volume. Cet équipement a été conçu pour des installations de production professionnelles et est un dispositif de contrôle de processus fiable pour le masque, la gravure des plaques et la cendre. Il est capable de fournir des résultats précis et reproductibles pour un large éventail de tâches de traitement par voie humide. TEL INDY PLUS B-M fonctionne à l'aide d'une cellule de gravure multi-chambres avec un générateur de plasma contenu dans une chambre, et la plaquette à graver contenue dans l'autre. Cela permet que le processus se déroule simultanément, et assure un haut degré de contrôle sur les paramètres du processus. TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M dispose d'une panoplie de dispositifs de sécurité qui protègent contre les dommages causés par l'ouverture des portes, la surpression et la pression, ainsi que d'autres incidents électroniques. De plus, le système est certifié conforme aux normes CEI 61010-1 afin d'assurer un fonctionnement fiable dans n'importe quel environnement de laboratoire. En outre, l'unité est très efficace, avec un taux de répétabilité du processus de 95 %. En conséquence, la machine est bien adaptée aux processus de production à haut débit, et produit des résultats très précis pour de multiples types de processus de gravure, ainsi que pour le cendrage. En plus de ses résultats de haute qualité, INDY PLUS B M est conçu pour fournir un certain nombre de fonctionnalités pratiques. Par exemple, il dispose d'une interface utilisateur graphique configurable (UI) qui permet de programmer les paramètres d'un processus de gravure automatisé, ainsi que de visualiser facilement l'état du processus. En outre, son interface peut être reliée à une variété d'autres systèmes tels que EDX, Rhythmlogics, et plus encore. Cela permet une intégration avec des systèmes internes et des systèmes tiers, offrant une grande flexibilité. L'outil comprend également une conception unique qui permet l'introduction de nouveaux paramètres d'étape de processus, tels que la tension, la pression et la température. Dans l'ensemble, TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M est un graveur/asher idéal pour les installations de production professionnelles qui doivent créer des composants micro de haute précision et de grand volume. Il offre un contrôle fiable des processus, un haut degré de répétabilité, et la capacité de se lier à une variété d'autres systèmes. En outre, il offre des fonctionnalités pratiques telles que des interfaces graphiques configurables et la possibilité d'introduire de nouveaux paramètres d'étape de processus, offrant une grande flexibilité et en faisant l'un des systèmes les plus polyvalents de son genre.
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