Occasion TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #293816259 à vendre en France

ID: 293816259
Taille de la plaquette: 12"
Furnace, 12" Process: SiO2 Dual boat SMIF: FOUP type N2 Load lock (25) Carrier slots Control system Process gasses Process liquid Gas distribution system Exhaust distribution system Wafer / Cassette handling Elevator handling VMM-56-201 Heating chamber No RF system No HEC Pyro CTL No RCU No Cold trap.
TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M est un four de diffusion à la fine pointe de la technologie avec des caractéristiques et des capacités avancées conçues pour le traitement de haute performance des plaquettes dans la fabrication de semi-conducteurs. Cet outil innovant allie contrôle de précision, haut débit et uniformité supérieure pour répondre aux exigences exigeantes de l'industrie. TEL INDY PLUS B-M est équipé d'un système de chauffage multi-zones qui assure un contrôle précis de la température sur la surface de la plaquette. Cela permet des cycles de chauffage et de refroidissement uniformes, qui sont essentiels pour obtenir des résultats cohérents et fiables dans le processus de diffusion. La gamme de température du four peut être ajustée pour accueillir une grande variété de recettes et de matériaux de processus, ce qui en fait un outil polyvalent pour diverses applications. En plus du contrôle de la température, TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M dispose d'un système de contrôle du débit de gaz qui permet une régulation précise de l'atmosphère dans la chambre de procédé. Cela garantit que la plaquette est exposée aux conditions optimales pour le processus de diffusion, conduisant à une amélioration des performances et du rendement. Le four comprend également des dispositifs de sécurité avancés pour prévenir les fuites de gaz et assurer l'intégrité de l'environnement du procédé. TEL INDY PLUS B M est conçu pour le traitement à haut débit, permettant aux fabricants de semi-conducteurs d'augmenter leur capacité de production sans sacrifier la qualité. L'outil dispose d'une grande chambre de processus qui peut accueillir plusieurs plaquettes simultanément, réduisant les temps de cycle et améliorant l'efficacité. Le four est également équipé de capacités d'automatisation avancées, telles que la gestion des recettes et l'enregistrement des données, afin de rationaliser le processus de traitement et de minimiser l'intervention de l'opérateur. L'un des principaux avantages de TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M est sa compatibilité avec une large gamme d'accessoires et de mises à niveau qui améliorent ses performances et sa polyvalence. Il s'agit notamment de systèmes auxiliaires de distribution de gaz, de robots de manutention de plaquettes et d'outils avancés de surveillance des processus qui permettent le contrôle et l'optimisation des processus en temps réel. Le four peut également être intégré dans une ligne complète de fabrication de semi-conducteurs, assurant une transition sans faille de la préparation des plaquettes au conditionnement. Dans l'ensemble, INDY PLUS B M est un four de diffusion de pointe qui offre des performances, une fiabilité et une flexibilité exceptionnelles pour les applications de fabrication de semi-conducteurs. Ses fonctionnalités et capacités avancées en font un choix idéal pour des environnements de production à haut volume où la précision, la cohérence et l'efficacité sont primordiales. En tirant parti des capacités de cet outil, les fabricants de semi-conducteurs peuvent obtenir des résultats supérieurs et rester en avance sur la concurrence dans l'industrie des semi-conducteurs en évolution rapide.
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