Occasion TEL / TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M #9381843 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS B M est un graveur/asher haute performance conçu pour répondre aux exigences de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs les plus avancés. TEL INDY PLUS B-M utilise un procédé révolutionnaire de gravure en phase liquide pour permettre la précision et le contrôle des tailles et des formes gravées. Cette caractéristique unique permet à TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M de produire des caractéristiques avec des masques métalliques ou des masques organiques en quelques minutes avec un contrôle serré sur CD. La haute qualité des caractéristiques est assurée par l'intégration d'un double angle de faisceau non uniforme. Cela garantit une gravure uniforme sur de grandes tailles de caractéristiques avec une rugosité minimale sous-cotée ou latérale. La flexibilité du procédé TEL INDY PLUS B M est encore améliorée par sa large gamme de gaz de procédé, y compris NF3, CF4, CF4/O2, NF3/O2, SF6 et SF6/O2. Cela facilite une variété de techniques de dépôt, y compris Multi-Dep et Arealuzion, Polysilicon LPCVD, et Anisotropic Dry Etch, entre autres. INDY PLUS B-M dispose également d'un substrat propriétaire et d'un refroidissement des plateaux pour prévenir les dommages thermiques et réduire la probabilité de rétrograder. INDY PLUS-B-M est conçu pour fournir des débits plus élevés et réduire les temps d'arrêt. Il dispose d'une capacité de pulsation sous-nanoseconde polyvalente qui peut être utilisée pour diriger l'énergie de gravure dans des régions de processus spécifiques. Cela accélère les cycles de gravure et permet à la machine d'être utilisée pour une plus large gamme de recettes de processus. La conception modulaire de la machine permet un échange rapide de modules de processus, ce qui augmente le débit du substrat et augmente le temps que les opérateurs peuvent économiser sur le temps d'installation. Enfin, TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS-B-M dispose d'une source de plasma RF localisée et d'une source d'ions intégrée pour améliorer l'uniformité et la répétabilité des dépôts. Les systèmes RF offrent une grande flexibilité de contrôle des processus par rapport aux autres graveurs de la même classe. En résumé, INDY PLUS B M est un graveur/asher polyvalent qui offre une flexibilité de processus, un débit amélioré et des performances répétables. Son procédé unique de gravure en phase liquide produit de plus petites tailles de caractéristiques avec un contrôle de CD serré et comprend un angle de faisceau réglable et un refroidissement substrat/plateau. Sa pulsation sous-nanoseconde rapide permet des recettes multi-processus tandis que ses sources RF et ion intégrées fournissent une précision accrue. Ce graveur/asher avancé est idéal pour la production de dispositifs semi-conducteurs compliqués.