Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293592996 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 293592996
Taille de la plaquette: 12"
LPCVD Furnace, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur/asher utilisé dans la production de dispositifs semi-conducteurs. Il est utilisé pour graver/cendres des couches de matériau photorésist sur des plaquettes afin de créer diverses caractéristiques sur les plaquettes. Le procédé est connu sous le nom de photolithographie et constitue une étape clé dans la fabrication d'un dispositif semi-conducteur. LE TÉL INDYPLUS présente une colonne simple VariBeam™ la colonne optique, en fournissant la performance supérieure et l'exactitude. La colonne est capable de graver avec précision des géométries précises. Il offre un haut degré de polyvalence en raison de sa haute résolution, sa capacité à graver à des courants de faisceau plus élevés, et son intégration dans les environnements communs des outils de processus de gravure. TOKYO ELECTRON INDY PLUS possède également une variété d'autres caractéristiques, telles qu'une électrode de polarisation isolée de potentiel de 25 kV, un système robuste de surveillance et de contrôle de la température et de l'atmosphère pendant la gravure et le cendrage. Ceci permet une gravure et une cueillette précises et stables des couches de résine photosensible. TEL/TOKYO ELECTRON INDY PLUS est équipé d'un étalonnage auto-polarisé et d'un étalonnage de courant auto-faisceau pour s'assurer que le processus de gravure et d'ashing est de haute qualité. Ces fonctionnalités permettent à l'opérateur de définir une tension cible, un courant de faisceau et un profil, et Indy Plus s'ajustera automatiquement pour être optimisé. À l'aide d'un contrôle informatique de pointe, INDYPLUS peut également mesurer et ajuster la température, l'acidité et la pression pendant le processus de gravure et de cueillette. Cela garantit que chaque cycle de plaquettes est reproductible et uniforme. TEL Indy Plus etcher/asher est l'outil parfait pour créer des géométries précises avec la plus haute qualité. Il fournit un fonctionnement stable dans une variété de processus, et ses caractéristiques en font un outil fiable et fiable pour la création de dispositifs semi-conducteurs. TEL est fier d'offrir INDY PLUS etcher/asher, établissant la norme de l'industrie pour la production de dispositifs semi-conducteurs de qualité.
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