Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293596083 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur/asher entièrement automatisé conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Cet équipement est un outil de gravure/oxyde thermique hautement fiable et de pointe qui peut être utilisé pour le traitement de substrats tels que le quartz, le silicium et l'aluminium. TEL INDYPLUS dispose d'un panneau de contrôle tactile intuitif et convivial pour surveiller facilement les opérations internes, les conditions de réglage et le dépannage. Une variété d'alertes et d'alarmes système peuvent être configurées pour informer l'utilisateur de tout problème. En utilisant une unité de distribution de gaz contrôlée par le procédé et une méthode unique d'échantillonnage in situ de la concentration des précurseurs dans la chambre de traitement, TOKYO ELECTRON INDY PLUS est en mesure de contrôler avec précision à la fois le processus de gravure et la chimie de la phase gazeuse. TEL Indy Plus est équipé de deux chambres de traitement. La première est la chambre du substrat, où la vitesse de gravure est contrôlée par la pression et les températures. Le second est l'oxydant thermique, où l'oxydation peut être contrôlée par la température et le temps. TOKYO ELECTRON Indy Plus dispose d'un seul panneau de poche pouvant contenir jusqu'à quatre substrats, ce qui permet une taille des plaquettes entre 2 « et 6 » de diamètre. La machine est capable de fonctionner à des températures aussi élevées que 900 ° C et aussi basses que -20 ° C TEL INDY PLUS a la capacité de mener plusieurs processus en une seule fois, y compris le nettoyage des gravures, le profilage et la gravure isolée pour l'isolation des tranchées peu profondes (STI) et d'autres gravures à haut rapport d'aspect. En outre, une variété de procédés post-gravure tels que la diffusion et l'oxydation thermique peuvent également être menés. L'outil comprend également plusieurs caractéristiques de sécurité et de protection de l'environnement telles que les gaz d'échappement, l'isolation des chicanes et les boucliers thermiques. Dans l'ensemble, INDYPLUS est un outil fiable et polyvalent avec une gamme d'avantages et de fonctionnalités qui en font une option idéale pour la fabrication de semi-conducteurs. Il dispose d'un ensemble complet de paramètres et de capacités, ce qui en fait le choix idéal pour mener une variété de processus de gravure avec une grande précision et répétabilité.