Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293627608 à vendre en France
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ID: 293627608
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2010
Furnace, 12"
Process: ALDZROX
Reactor: Boat rotation
Furnace:
Loading area light: White (LED)
Wafer / Carrier handling: Fork material-Al2O3 + Peek
Facilities: Furnace exhaust connection poi: Top connection
Cooling water connection point: Bottom connection
Furnace (Exhaust / Box, Gas / Box: Main-Fab)
Power box: Sub-Fab
Gas distribution system:
IGS Type: IGS 1.125" W-seal rail-mount
IGS Maker: FUJIKIN
Tubing bends: Bend (Less than 90°)
IGS Final filter-PALL
IGS Regulator: CKD
IGS MFC: AE / Digital
IGS Press transducer: NAGANO
Gas facilities:
Gas VENT connection point: Bottom connection
Exhaust VENT connection point: Bottom Connection
Gas unit exhaust connection point: Top connection
Process gas exhaust connection: Bottom connection
Exhaust :
Vacuum gage:
Press control: MKS (Hot) Capacitance manometer
Press monitor: MKS (Hot) Capacitance manometer
Pump monitor: MKS (Hot) Capacitance manometer
Main valve-CKD-Hi-speed VEC
Vacuum pressure controller: CKD-VEC
Heater model:
Low temperature VMM-56-201 4 Zone/150-600C
Without RCU
Interface specification, Factory automation system:
Carrier ID reader writer type: RF
CIDRW Lower load port: Read
Interface:
Signal tower model: LOUGWB-24-4
Tower as follows: LOUGWB-24-4
(2) LOUGWB-24-3, Default = 1
Signal tower colors: Red / Yellow / Green / Blue
Tower as follows: Red / Yellow / Green / Blue
(2) Red / Yellow / Green
Signal tower: Front
Front operation panel
MMI and gas flowchart: Gas box and front operation panel
Indicator type: Superset
Operator switch: Operator access / Orange (Standard)
Pressure display unit: MPa / Torr
Cabinet exhaust pressure display: Pa
No auto shutter
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2010 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un puissant graveur/asher qui est utilisé dans l'industrie des semi-conducteurs pour le traitement de plaquettes de différentes tailles. Cet asher est équipé d'un panneau tactile de pointe et d'une conception économe en énergie qui réduit les coûts électriques et le soutien pour un chauffage et un refroidissement rapides. Il a également plusieurs recettes stockées dans la mémoire. TEL INDYPLUS est capable de traitement de plaquettes de 400mm et 300mm avec des tailles allant de 2 à 8 pouces. Il offre une large gamme d'options de traitement, y compris Cl2-based gravure de faisceau d'ions haute densité, cendres, gravure et cendres, gravure de film de silicium polycristallin et dépôt de couches minces. TOKYO ELECTRON INDY PLUS dispose également d'un mandrin électrostatique de type hybride qui offre une uniformité améliorée des cendres de substrat et est conçu pour optimiser l'efficacité de gravure et de cendrage. Son bras robotique permet un transfert rapide des plaquettes. Il est équipé d'un système de contrôle du chauffage infrarouge qui est conçu pour réduire les variations en maintenant la température dans la chambre de traitement. TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS utilise un contrôleur d'épaisseur de film numérique spécial qui donne une répétabilité précise et des profils de gravure/cendrage améliorés. Il dispose également de diverses caractéristiques de sécurité, dont un moniteur de retour de gaz en chambre, une soupape de sécurité de surpression et des dispositifs de sécurité. En plus de ces caractéristiques, INDYPLUS dispose également d'une chambre d'échantillonnage dédiée au traitement avancé des bancs humides. Ceci fournit un environnement propre pour tester et mesurer les propriétés des sondes élevées et de contrôle. INDY PLUS est une solution de gravure d'entrée de gamme, économique mais puissante qui répond à un large éventail de besoins de fabrication dans l'industrie des semi-conducteurs. Il est convivial, offre un haut débit et des résultats précis et est idéal pour le traitement de volume élevé de différents types de plaquettes.
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