Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293640263 à vendre en France

TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur/asher conçu pour le traitement avancé des semi-conducteurs. Il s'agit d'une mise à jour du modèle standard TEL Indy et se compose d'une chambre à vide de précision, de stations de traitement et de contrôleurs de processus automatisés. Ce graveur/asher facilite les procédés de gravure sèche utilisés dans la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. TEL INDYPLUS est utilisé dans la lithographie, le cendrage photorésiste, la gravure sèche, l'implantation d'ions et le traitement de surface du faisceau d'ions. Il est capable de travailler avec des gaz et des mélanges utilisés dans ces opérations et offre un alignement global haute vitesse et haute précision pour résoudre les motifs submicroniques. Ce graveur/asher utilise des procédés avancés pour graver uniformément plusieurs zones avec des surfaces de haute qualité. Il dispose d'un microscope d'alignement global à grande vitesse, d'une précision de mouvement de 200 nm et de caractéristiques de compensation de dérive. TOKYO ELECTRON INDY PLUS offre également une répétabilité supérieure pour les processus de gravure et un meilleur débit pour la gravure parallèle. La chambre de TEL/TOKYO ELECTRON INDYPLUS est capable d'atteindre une pression de base de 10mTorr ou moins et offre un temps d'évacuation plus court par rapport aux modèles standard Indy etcher ou autres etcher/asher. La chambre est équipée d'un dispositif de pulvérisation magnétron à induction alternative et d'un dispositif de dépôt métallique CVD thermiquement assisté. TOKYO ELECTRON Indy Plus peut accueillir jusqu'à 300mm de plaquettes et un environnement propre est entretenu grâce à un équipement de douche à gaz avec un système de filtration des gaz et une unité de distribution multiple de gaz. Cette machine assure que la chambre est exempte de contamination, ce qui améliore la précision et le débit de gravure. Indy Plus est capable de traiter la gravure à haut rapport d'aspect et peut également effectuer la gravure jusqu'à quelques centaines de nanomètres d'épaisseur. Ce graveur/asher peut traiter plusieurs matériaux à la fois, ce qui le rend adapté à une variété d'applications de processus. En outre, INDY PLUS est compatible avec la gamme complète de produits chimiques de gravure IPEC. INDYPLUS est convivial et offre un design évolutif pour des améliorations, ce qui en fait un choix rentable pour ceux qui recherchent un graveur/asher polyvalent. L'etcher/asher est également équipé de dispositifs de sécurité pour assurer la sécurité du personnel et prévenir les accidents potentiels.