Occasion TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus #293649523 à vendre en France

TEL / TOKYO ELECTRON Indy Plus
ID: 293649523
Furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON Indy Plus est un graveur/asher avancé conçu pour des applications dans l'industrie de la fabrication de semi-conducteurs. C'est un équipement très sophistiqué avec des capacités de contrôle de faisceau de précision qui permettent une large gamme de processus de gravure et de cendres. Le système utilise à la fois la commande de faisceau à axe direct (DABC) et la commande de faisceau à axe inverse (IABC). Il est également équipé d'une unité d'imagerie haute vitesse et d'un logiciel de lithographie propriétaire. La machine TEL INDYPLUS prend en charge les modes de fonctionnement par lots et monobloc. En mode de fonctionnement par lots, il peut accueillir jusqu'à 200 plaquettes en une seule fois. Ce mode permet aux utilisateurs d'améliorer le débit et la productivité en effectuant des processus automatisés sans chargement manuel. L'outil a également une capacité de nivellement avancée qui assure des résultats de gravure et de cendres uniformes. L'actif comprend une conception de chambre dédiée appelée chambre à haut plasma uniforme (UHP), qui contrôle le processus de gravure et de cendres en augmentant le nombre de sources de plasma et en créant un profil de pression de plasma symétrique. Cela permet de réduire les risques de gravure et de cendrage inégaux, améliorant ainsi la reproductibilité et le rendement. En outre, TOKYO ELECTRON INDY PLUS modèle est équipé d'une capacité de nettoyage à la gravure (C2E). Cette fonctionnalité permet aux utilisateurs de définir automatiquement une séquence d'étapes de processus telles que le nettoyage, la gravure et l'ashing pour améliorer l'efficacité. L'équipement Indy Plus est également conçu pour une sécurité maximale. Il est livré avec un système d'alarme pour surveiller l'environnement du processus, y compris la température et la pression. L'unité a également une fonction d'arrêt automatique en cas d'urgence. Dans l'ensemble, INDYPLUS machine est un graveur/asher avancé et très efficace conçu pour la fabrication de semi-conducteurs. Il offre un contrôle de faisceau de précision, imagerie haute vitesse, chambre à plasma élevé uniforme, capacité de nettoyage à la gravure, et un outil d'alarme pour surveiller le travail de processus, ce qui en fait un atout fiable et fiable pour toute application.
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